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SJ6000國產(chǎn)激光干涉儀品牌是一個(gè)交流測試系統，當激光光束強度受環(huán)境影響發(fā)生變化時(shí)，其頻率不會(huì )受光強變化影響發(fā)生變化，也不會(huì )因電平變化造成干涉信號的頻率改變。因此，它的抗擾力強，精度高，測量結果可靠，在高精度要求的芯片光刻機、計量檢測和前沿科研領(lǐng)域得到廣泛應用。

SJ6000激光光學(xué)干涉儀是一個(gè)交流測試系統，當激光光束強度受環(huán)境影響發(fā)生變化時(shí)，其頻率不會(huì )受光強變化影響發(fā)生變化，也不會(huì )因電平變化造成干涉信號的頻率改變。因此，它的抗擾力強，精度高，測量結果可靠，在高精度要求的芯片光刻機、計量檢測和前沿科研領(lǐng)域得到廣泛應用。

中圖儀器激光干涉儀測量集光、機、電、計算機等技術(shù)于一體，采用激光雙縱模熱穩頻技術(shù)，可實(shí)現高精度、抗擾力強、長(cháng)期穩定性好的激光頻率輸出。具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn)，結合不同的光學(xué)鏡組，可實(shí)現線(xiàn)性測長(cháng)、角度、直線(xiàn)度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。

SJ6000中圖激光干涉儀使用當前熱門(mén)的軟件界面開(kāi)發(fā)工具，軟件界面人性化，操作簡(jiǎn)單。將靜態(tài)測量和動(dòng)態(tài)測量?jì)煞N功能合并到一個(gè)軟件中，更方便用戶(hù)切換測量類(lèi)型。使用高性能氦氖激光器，結合伺服穩頻控制系統，達到高精度穩頻(0.05ppm)。配合有環(huán)境補償單元，在環(huán)境變化的情況下，也可以得到較高的測量精度。

便攜自動(dòng)精密轉臺，主要特點(diǎn)：小巧便攜、功能強大、無(wú)線(xiàn)操作；回轉軸測量配置主要由SJ6000主機、角度鏡組、WR50自動(dòng)精密轉臺、SJ6000靜態(tài)測量軟件等組件構成。

激光干涉儀SJ6800，高精度測量、應用廣泛、軟件功能強大，以光波為載體，其光波波長(cháng)可以直接對米進(jìn)行定義，且可以溯源至國家標準