SJ6000激光光學(xué)干涉儀是一個(gè)交流測試系統，當激光光束強度受環(huán)境影響發(fā)生變化時(shí)，其頻率不會(huì )受光強變化影響發(fā)生變化，也不會(huì )因電平變化造成干涉信號的頻率改變。因此，它的抗擾力強，精度高，測量結果可靠，在高精度要求的芯片光刻機、計量檢測和前沿科研領(lǐng)域得到廣泛應用。

性能特點(diǎn)

1、易操作，方便攜帶

SJ6000激光干涉儀和鏡組以及環(huán)境補償器，外形小巧美觀(guān)方便攜帶，一套完整的激光干涉儀和鏡組只需要裝在一個(gè)類(lèi)似于行李箱的工具箱中，整體加起來(lái)的重量輕，再加上一個(gè)可以自由伸縮調整高度的三腳架（裝在無(wú)紡編織袋中），隨時(shí)隨地可用于機械測量。激光干涉儀與環(huán)境補償器都有端口和計算機USB接口相連，實(shí)時(shí)傳遞檢測數據，供計算機檢定軟件測算，檢定過(guò)程輕松易掌握，沒(méi)有復雜的程序設定。

2、高精確度保證動(dòng)態(tài)性能

氦氖激光器持續輸出高穩頻的激光源，再加上環(huán)境補償器，使線(xiàn)性測量的精度穩定在0.5ppm，動(dòng)態(tài)采集數據頻率高達50KHz，測量速度4m/sec，高速測量下的分辨率為1nm。

3、技術(shù)品質(zhì)高

精心的設計和嚴格把關(guān)的制造，持續提供技術(shù)支持，對產(chǎn)品質(zhì)量保證都顯得尤為重要，完善的售前、售中、售后和全國支持網(wǎng)絡(luò )。

4、適用性和靈活性

SJ6000激光干涉儀架設靈活，對各種復雜結構的機床、平臺和導軌都具有廣泛適用性，測量快速簡(jiǎn)便，減少重復定位測量的時(shí)間，同時(shí)得到精確直觀(guān)的檢測數據。

SJ6000激光光學(xué)干涉儀具有高精確測量、計算的系統性能和便攜式操作等特點(diǎn)。結合不同的光學(xué)鏡組，可實(shí)現線(xiàn)性測長(cháng)、角度、直線(xiàn)度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。