SJ6000激光干涉儀檢測設備可以檢測線(xiàn)性、角度、直線(xiàn)度、垂直度等幾何量,可以檢測數控機床、三坐標測量機等精密運動(dòng)設備運動(dòng)導軌的線(xiàn)性定位精度、重復定位精度等;同時(shí)也能檢測運動(dòng)導軌的俯仰角、扭擺角、垂直度和直線(xiàn)度;并且可滿(mǎn)足回轉軸分度精度的測量。
SJ6000系列激光干涉儀可根據用戶(hù)設定的補償方式自動(dòng)生成誤差補償表,滿(mǎn)足機床誤差修正的要求。具有實(shí)現線(xiàn)性、角度、直線(xiàn)度、垂直度等幾何量的檢測功能??梢詸z測數控機床、三坐標測量機等精密運動(dòng)設備運動(dòng)導軌的線(xiàn)性定位精度、重復定位精度等;同時(shí)也能檢測運動(dòng)導軌的俯仰角、扭擺角、垂直度和直線(xiàn)度;并且可滿(mǎn)足回轉軸分度精度的測量。
回轉軸測量需借助WR50自動(dòng)精密轉臺,與SJ6000角度測量配合使用。將WR50連接到回轉軸上,作為測角標準器,WR50可實(shí)現0~360°的角度測量范圍,±1″的測量精度,轉速為10rpm。
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