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以激光干涉技術(shù)為核心，SJ6000工業(yè)激光干涉測量?jì)x機床精度測試的分辨率可達納米級。采用的激光雙縱模熱穩頻技術(shù)，可實(shí)現高精度、長(cháng)期穩定性好的激光頻率輸出，并且干涉鏡與主機分離設計，避免了干涉鏡受熱影響，保證了干涉光路穩定可靠?？蓹z測數控機床、三坐標測量機等精密運動(dòng)設備其導軌的線(xiàn)性定位精度、重復定位精度等，以及導軌的俯仰角、扭擺角、直線(xiàn)度、垂直度等。

SJ6000高性能激光干涉儀以干涉技術(shù)為核心，其光波可直接對米進(jìn)行定義。采用激光雙縱模熱穩頻技術(shù)，可實(shí)現高精度、抗干擾能力強、長(cháng)期穩定性好的激光頻率輸出；采用高精度環(huán)境補償模塊，可實(shí)現激光波長(cháng)和材料的自動(dòng)補償；干涉鏡與主機分離設計，避免干涉鏡受熱影響，保證干涉光路穩定可靠。

SJ6000激光干涉儀測量系統可以實(shí)現線(xiàn)性、角度、直線(xiàn)度、垂直度、平面度等幾何量的檢測，也具有動(dòng)態(tài)測量與分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等，可進(jìn)行振動(dòng)分析、絲桿導軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅動(dòng)系統的響應特性分析等；支持手動(dòng)或自動(dòng)進(jìn)行環(huán)境補償。

SJ6000機床精密測量激光干涉儀具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn)，結合不同的光學(xué)鏡組，可實(shí)現線(xiàn)性測長(cháng)、角度、直線(xiàn)度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。以光波為載體，其光波波長(cháng)可以直接對米進(jìn)行定義，是一款高精度、高靈敏度的測量?jì)x器，在制造領(lǐng)域應用廣泛。

SJ6000高精度測量激光干涉儀為機床機定位誤差（螺距補償）、反向間隙修正提供依據。操作人員通過(guò)每個(gè)機床軸的補償值來(lái)消除機床定位系統中的定位誤差。后期通過(guò)對機床軸的補償，可以將誤差降低到幾乎為零的程度，大大提高機床作業(yè)精度。

SJ6000光學(xué)干涉儀對機床運動(dòng)導軌和滾珠絲桿的各項參數檢測分析、校準補償的重要性，而機床在裝配、加工、生產(chǎn)的同時(shí)需要頻繁的使用到激光干涉儀，來(lái)進(jìn)行多種幾何量精度參數的測量以及動(dòng)態(tài)性能的測試、分析。從宏觀(guān)角度來(lái)講，激光干涉儀對機床工具產(chǎn)業(yè)乃至整個(gè)制造工業(yè)的升級，都是功不可沒(méi)的。