中圖儀器激光干涉儀測量集光、機、電、計算機等技術(shù)于一體，采用激光雙縱模熱穩頻技術(shù)，可實(shí)現高精度、抗擾力強、長(cháng)期穩定性好的激光頻率輸出。具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn)，結合不同的光學(xué)鏡組，可實(shí)現線(xiàn)性測長(cháng)、角度、直線(xiàn)度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。在動(dòng)態(tài)測量軟件配合下，可實(shí)現線(xiàn)性位移、角度和直線(xiàn)度的動(dòng)態(tài)測量與性能檢測，以及進(jìn)行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動(dòng)態(tài)分析，如振動(dòng)分析、絲桿導軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅動(dòng)系統的響應特性分析等。

功能廣

· 可實(shí)現線(xiàn)性、角度、直線(xiàn)度、垂直度、平行度、平面度、回轉軸等幾何參量的高精密測量；

· 可檢測數控機床、三坐標測量機等精密運動(dòng)設備其導軌的線(xiàn)性定位精度、重復定位精度等，以及導軌的俯仰角、扭擺角、直線(xiàn)度、垂直度等；

· 可實(shí)現對機床回轉軸的測量與校準；

· 可根據用戶(hù)設定的補償方式自動(dòng)生成誤差補償表，為設備誤差修正提供依據；

· 具有動(dòng)態(tài)測量與分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等，可進(jìn)行振動(dòng)分析、絲桿導軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅動(dòng)系統的響應特性分析等；

· 支持手動(dòng)或自動(dòng)進(jìn)行環(huán)境補償。

軟件強

· 友好的人機界面；

· 豐富的應用功能模塊；

· 向導式的操作流程；

· 簡(jiǎn)潔化的記錄管理；

· 支持中文、英文和俄文界面；

· 支持企業(yè)專(zhuān)屬模板定制。

中圖儀器激光干涉儀測量廣泛應用于精密機械設備、精密檢測儀器、三坐標、機器人、3D打印設備、機床、自動(dòng)化設備、線(xiàn)性位移平臺等領(lǐng)域的線(xiàn)性測量，是高精度、高靈敏度測量?jì)x器。