SJ6000高性能激光干涉儀采用氦氖激光器作為光源。其精度高，抗干擾能力強，空氣湍流、熱波動(dòng)等影響甚微，因此降低了對環(huán)境條件的要求，使它不僅能用于實(shí)驗室，還可在車(chē)間條件下測量大距離用，是高精度線(xiàn)性位移測量?jì)x器。

測量方法

進(jìn)行線(xiàn)性測量的一般步驟 

  （1）安裝設置激光干涉儀 

  （2）將激光束與被測量的軸校準 

  （3）啟動(dòng)測量軟件，并輸入相關(guān)參數（如材料膨脹系數）。 

  （4）在機床上輸入測量程序，啟動(dòng)干涉儀測量，并記錄數據。 

  （5）用測量軟件分析測量數據，生產(chǎn)補償文件。 

  光束快速準直步驟 

  （1）沿著(zhù)運動(dòng)軸將反射鏡與干涉鏡分開(kāi)。 

  （2）移動(dòng)機床工作臺，當光束離開(kāi)光靶外圓時(shí)停止移動(dòng)。 

  垂直光束調整 

  （3）使用激光頭后方的指形輪使兩道光束回到相同的高度。 

  （4）使用三腳架中心主軸上的高度調整輪使激光頭上下旋轉，直到兩道光束都擊中光靶中心。 

  水平光束調整 

  （5）用三腳架左后方的小旋鈕，調整激光頭的角度偏轉，使兩道光束彼此重疊。 

  （6）用三腳架左邊中間的大旋鈕，調整激光頭的水平位置，使兩道光束擊中光靶的中心。 

  （7）沿著(zhù)運動(dòng)軸重新開(kāi)始移動(dòng)機床工作臺。在看到光束移開(kāi)光靶時(shí)再次停止。重復步驟3到6，直到完成整個(gè)軸向的光鏡準直。 

  （8）達到軸的末端時(shí)，將機床移回，使反光鏡及線(xiàn)性反射鏡互相靠近。注：若其中一道光束離開(kāi)光閘的光靶，是由于反光鏡側向偏移所造成。上下左右移動(dòng)反光鏡，使從反光鏡返回的光束與干涉鏡的光束在光閘的光靶上互相重疊。 

  重復步驟1到8，直到兩道光束在整個(gè)運動(dòng)軸長(cháng)度范圍內都保持在光靶的中心。 

  （9）保持光束和測量軸準直。將光閘旋轉到其測量位置。當反光鏡沿著(zhù)機床的整個(gè)運動(dòng)長(cháng)度移動(dòng)時(shí)，檢查線(xiàn)性數據采集軟件中顯示的信號強度。 

SJ6000高性能激光干涉儀以干涉技術(shù)為核心，其光波可直接對米進(jìn)行定義。采用激光雙縱模熱穩頻技術(shù)，可實(shí)現高精度、抗干擾能力強、長(cháng)期穩定性好的激光頻率輸出；采用高精度環(huán)境補償模塊，可實(shí)現激光波長(cháng)和材料的自動(dòng)補償；干涉鏡與主機分離設計，避免干涉鏡受熱影響，保證干涉光路穩定可靠。