SJ6000激光干涉儀測量系統可根據用戶(hù)設定的補償方式自動(dòng)生成誤差補償表，為設備誤差修正提供依據；可實(shí)現線(xiàn)性、角度、直線(xiàn)度、垂直度、平行度、平面度、回轉軸等幾何參量的高精密測量；也可檢測數控機床、三坐標測量機等精密運動(dòng)設備其導軌的線(xiàn)性定位精度、重復定位精度等，以及導軌的俯仰角、扭擺角、直線(xiàn)度、垂直度等。

測量精度高、速度快，穩定性好：

1.使用高性能氦氖激光器，結合伺服穩頻控制系統，達到高精度穩頻(0.05ppm)；

2.以光波長(cháng)(633nm)為測量單位，分辨率可達nm級；

3.使用高速光電信號采樣和處理技術(shù)，測量速度可達到4m/s；

4.配合有環(huán)境補償單元，在環(huán)境變化的情況下，也可以得到較高的測量精度；

5.分離式干涉鏡設計，避免了測量鏡組由于主機發(fā)熱而引起的鏡組形變。

量程精度

穩頻精度：0.05ppm

線(xiàn)性測量精度：0.5ppm（0-40）℃

線(xiàn)性測量距離：（0-80）m（無(wú)需遠距離線(xiàn)性附件）

角度測量精度：±不低于±0.04% ±0.5 ±0.1M µm/m

SJ6000激光干涉儀測量系統可以實(shí)現線(xiàn)性、角度、直線(xiàn)度、垂直度、平面度等幾何量的檢測，也具有動(dòng)態(tài)測量與分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等，可進(jìn)行振動(dòng)分析、絲桿導軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅動(dòng)系統的響應特性分析等；支持手動(dòng)或自動(dòng)進(jìn)行環(huán)境補償。