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SJ6000激光干涉儀精密測量?jì)x器的測量軟件可以將線(xiàn)性測量結果生成的誤差補償表，精確的補償，可以有效地降低運動(dòng)軸的位置誤差。

SJ6000國產(chǎn)激光干涉儀器結合不同的光學(xué)鏡組，可實(shí)現線(xiàn)性測長(cháng)、角度、直線(xiàn)度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。

SJ6000激光干涉測量?jì)x在數控機床精度測量方面，豐富的模塊化組件可根據具體測量需求而選擇，結合不同的光學(xué)鏡組，可實(shí)現線(xiàn)性測長(cháng)、角度、直線(xiàn)度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。是一種用傳統測量手段難以實(shí)現的技術(shù)。

中圖儀器激光干涉儀器設備采用氦氖激光器作為光源。其精度高，扛擾力強，降低了對環(huán)境條件的要求，空氣湍流、熱波動(dòng)等影響甚微，因此使它不僅能用于實(shí)驗室，還可在車(chē)間條件下測量大距離用。

中圖儀器SJ6000機床校準激光干涉儀以干涉技術(shù)為核心，可實(shí)現線(xiàn)性、角度、直線(xiàn)度、垂直度、平行度、平面度、回轉軸等幾何參量的高精密測量；可檢測數控機床、三坐標測量機等精密運動(dòng)設備其導軌的線(xiàn)性定位精度、重復定位精度等，以及導軌的俯仰角、扭擺角、直線(xiàn)度、垂直度等；也可以實(shí)現對機床回轉軸的測量與校準。

中圖儀器激光平面干涉儀具有測量精度高、測量速度快、高測速下分辨率高、測量范圍大等優(yōu)點(diǎn)，不僅能用于實(shí)驗室，還可在車(chē)間條件下測量大距離用。