SJ6000激光干涉儀精密測量?jì)x器的測量軟件可以將線(xiàn)性測量結果生成的誤差補償表，精確的補償，可以有效地降低運動(dòng)軸的位置誤差。

SJ6000激光干涉儀集光、機、電、計算機等技術(shù)于一體，產(chǎn)品采用進(jìn)口高性能氦氖激光器，其壽命可達50000小時(shí)，采用高速干涉信號采集、調理及細分技術(shù)，可實(shí)現最高4m/s的測量速度，以及納米級的分辨率。具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、最高測速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn)。

產(chǎn)品參數

產(chǎn)品型號：SJ6000

產(chǎn)品名稱(chēng)：SJ6000激光干涉儀

穩頻方式：激光熱穩頻

穩頻精度：0.05ppm

線(xiàn)性測量精度：0.5ppm（0-40）℃

線(xiàn)性測量距離：（0-80）m（無(wú)需遠距離線(xiàn)性附件）

角度測量精度：±不低于±0.04% ±0.5 ±0.1M µm/m

測量分辨力：1nm

動(dòng)態(tài)采集頻率：50KHz

預熱時(shí)間：≤6分鐘

工作溫度范圍：（0-40）℃

環(huán)境溫度范圍：（0-40）℃，環(huán)境濕度：0-95%

主要特點(diǎn)：應用范圍廣、測量精度高、操作方便

生產(chǎn)企業(yè)：深圳市中圖儀器股份有限公司

注釋?zhuān)焊嘣敿毊a(chǎn)品信息，請聯(lián)系我們獲取

SJ6000激光干涉儀精密測量?jì)x器結合不同的光學(xué)鏡組，可實(shí)現線(xiàn)性測長(cháng)、角度、直線(xiàn)度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。在動(dòng)態(tài)測量軟件配合下，還可以實(shí)現線(xiàn)性位移、角度和直線(xiàn)度的動(dòng)態(tài)測量與性能檢測，以及進(jìn)行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動(dòng)態(tài)分析，如振動(dòng)分析、絲桿導軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅動(dòng)系統的響應特性分析等。