中圖儀器SuperViewW1輪廓表面測量?jì)x是以白光干涉技術(shù)原理，對各種精密器件表面進(jìn)行納米級測量的儀器，通過(guò)測量干涉條紋的變化來(lái)測量表面三維形貌，專(zhuān)用于精密零部件之重點(diǎn)部位表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸的非接觸式光學(xué)測量?jì)x器。能達到微型范圍內重點(diǎn)部位的納米級粗糙度、輪廓等參數的測量。

產(chǎn)品功能

1）具備各種類(lèi)型樣品表面微觀(guān)形貌的3D輪廓重建與測量功能；

2）具備表面粗糙度和微觀(guān)輪廓的檢測功能，粗糙度范圍涵蓋0.1nm到數十微米的級別；

3）具備校平、去除形狀、去噪、濾波等數據處理功能；

4）具備粗糙度分析、輪廓分析、結構分析、功能分析等表面參數分析功能；

5）具備自動(dòng)對焦、自動(dòng)測量、自動(dòng)多區域測量、自動(dòng)拼接測量等自動(dòng)化功能；

6）具備一鍵分析、多文件分析等快速、批量分析功能；

7）具備word、excel等數據報表導出功能。

SuperViewW1輪廓表面測量?jì)x可以達到納米級的檢測精度，并快速獲得被測工件表面三維形貌和數據?？蓽y各類(lèi)從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的微觀(guān)幾何輪廓、粗糙度、平整度、曲率等，提供依據ISO/ASME/EUR/GBT四大國內外標準共計300余種2D、3D參數作為評價(jià)標準。