激光共聚焦顯微鏡原理是由LED光源發(fā)出的光束經(jīng)過(guò)一個(gè)多孔盤(pán)和物鏡后，聚焦到樣品表面。之后光束經(jīng)樣品表面反射回測量系統。再次通過(guò)MPD上的針孔時(shí)，反射光將只保留聚焦的光點(diǎn)。最后，光束經(jīng)分光片反射后在相機上成像。

為什么激光共聚焦顯微鏡成像質(zhì)量更好？

1、激光共聚焦顯微鏡采用了激光掃描技術(shù)。與傳統顯微鏡的廣譜光源相比，激光掃描技術(shù)能夠精確定位和聚焦在樣品的特定區域，從而提高成像的分辨率和準確性。同時(shí)，激光掃描技術(shù)可以消除樣品中的散射和背景信號，從而提高成像的對比度。同時(shí)，激光的單色性使得成像更清晰。

2、激光共聚焦顯微鏡具有較大的光學(xué)孔徑（顯微鏡接收到樣品發(fā)出的光的能力）和高數值孔徑物鏡（鏡頭的放大倍數），使成像更清晰細致。

3、激光共聚焦顯微鏡使用的是探測元件是高靈敏度的光電倍增管，對微弱的熒光信號可以呈現出很高的靈敏度，并且還可以通過(guò)縮小激發(fā)范圍并使用光學(xué)切片來(lái)消除背景噪聲。配備高靈敏度的光電二極管探測器，使得激光共聚焦顯微鏡能夠快速并精確地檢測光信號，并將其轉換為電信號。

與傳統的光學(xué)觀(guān)察不同，光電二極管探測器可以實(shí)現單個(gè)光子的檢測，使得成像更加敏感和準確。這種高靈敏度的探測器在低光強條件下也能夠獲得清晰的圖像。

VT6000激光共聚焦顯微鏡基于針孔點(diǎn)光源的共軛共焦原理，具有納米級別的縱向分辨能力，配合高速掃描模塊，專(zhuān)業(yè)的分析軟件具有多區域、自動(dòng)測量功能，能實(shí)現快速自動(dòng)化測量，并提供高度、寬度和角度等一系列輪廓尺寸參數對表面質(zhì)量進(jìn)行表征。

VT6000激光共聚焦顯微鏡依托弱光信號解析算法可以完整重建出近70°陡峭的復雜的結構形狀。如：

1.對太陽(yáng)能電池片微觀(guān)結構進(jìn)行三維形貌重建：

2.快速重建出被測晶圓激光鐳射槽的三維輪廓并進(jìn)行多剖面分析，獲取截面的槽道深度與寬度信息：

3.對光學(xué)膜表面微結構實(shí)現快速自動(dòng)化測量，提供高度、寬度和角度等一系列輪廓尺寸參數對表面質(zhì)量進(jìn)行表征：