簡(jiǎn)要描述:CEM3000系列中圖儀器掃描電鏡設備在工業(yè)領(lǐng)域展現出廣泛的應用價(jià)值,標配有高性能二次電子探頭和多象限背散射探頭、并可選配能譜儀、低真空系統,能滿(mǎn)足用戶(hù)對多類(lèi)型樣品的觀(guān)測需求,實(shí)現微觀(guān)的形貌和元素分析等。
詳細介紹
品牌 | 中圖儀器 | 產(chǎn)地 | 國產(chǎn) |
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加工定制 | 否 |
CEM3000系列中圖儀器掃描電鏡設備用于對樣品進(jìn)行微觀(guān)尺度形貌觀(guān)測和分析。無(wú)需占據大量空間來(lái)容納整個(gè)電鏡系統,這使其甚至能夠出現在用戶(hù)日常工作的桌面上,在用戶(hù)手邊實(shí)時(shí)呈現所得結果。在工業(yè)領(lǐng)域展現出廣泛的應用價(jià)值,標配有高性能二次電子探頭和多象限背散射探頭、并可選配能譜儀、低真空系統,能滿(mǎn)足用戶(hù)對多類(lèi)型樣品的觀(guān)測需求,實(shí)現微觀(guān)的形貌和元素分析等。
CEM3000系列中圖儀器掃描電鏡設備采用鎢燈絲電子槍?zhuān)潆娮訕尠l(fā)射電流大、穩定性好,以及對真空度要求不高,使得鎢燈絲臺式掃描電鏡能夠在較短的時(shí)間內達到穩定的工作狀態(tài)并獲得清晰的圖像,從而提高了檢測效率,節省了時(shí)間成本,特別適用于需要快速獲取結果的應用場(chǎng)景,如工業(yè)生產(chǎn)中的質(zhì)量控制、快速篩選樣品等。
1.高分辨率,滿(mǎn)足用戶(hù)觀(guān)測需求;
2.快速抽放氣,縮短等待時(shí)間;
3.高易用性
可快速成像,一鍵成片;
4.多種成像參數
滿(mǎn)足專(zhuān)業(yè)用戶(hù)的調節需求;
5.高抗振防磁性能
強抗干擾能力;
6.可選配低真空模式,保證用戶(hù)能夠根據需要設定電鏡樣品倉內真空度,進(jìn)而對不同類(lèi)型的樣品進(jìn)行觀(guān)測。
7.大樣品倉
SEM3000A在保證較小外形尺寸同時(shí),具有比肩立式電鏡的大倉室,從而容納更大尺寸樣品;
8.多探測器
可實(shí)現四分窗同時(shí)掃描成像。
材料科學(xué):納米材料(如60nm銀線(xiàn))、高熵合金粉末、氧化鋅等微觀(guān)結構分析。
新能源:太陽(yáng)能電池板缺陷檢測、涂層性能評估。
生物醫療:微流控芯片表面形貌觀(guān)測、藥物載體研究。
工業(yè)質(zhì)檢:錫球顆粒焊接質(zhì)量、精密器件表面粗糙度檢測。
CEM3000A(大樣品倉型):70mm×70mm樣品倉,兼容大尺寸或多樣品批量分析。
CEM3000B(抗振型):專(zhuān)為振動(dòng)環(huán)境設計,抽氣更快(低真空僅40秒),成像更穩定。
型號 | CEM3000A(大樣品倉型) | |
電子槍 | 燈絲 | 鎢燈絲 |
分辨率 | 優(yōu)于4nm(SE),優(yōu)于8nm(BSE) @20kV | |
加速電壓 | 1 ~ 20kV | |
放大倍數 | 電子圖:40 ~ 200,000×(可選配大圖拼接) | |
探測器 | 二次電子 | 標配 |
背散射電子 | 標配(四象限高分辨探頭) | |
能譜儀 | 選配 | |
自動(dòng)化軟件 | 標配:自動(dòng)合軸、自動(dòng)聚焦、自動(dòng)消像散、一鍵圖像增強 | |
選配:顆粒度統計、孔隙率測量、纖維測量、三維粗糙度重建 | ||
真空系統 | 真空度 | 高真空:優(yōu)于9×10-3Pa 低真空:5 ~ 100 Pa(選配) |
抽真空時(shí)間 | 低真空模式 < 1.5min 高真空模式 < 3min | |
樣品臺 | 自動(dòng)軸 | X,Y,T |
手動(dòng)軸 | R,Z | |
行程范圍 | X: 50mm | |
Y: 50mm | ||
R: 0°~360°(手動(dòng)旋轉、電子束旋轉) | ||
T: -22.5°~ +22.5° | ||
Z: 45mm | ||
樣品尺寸 | 70mm×70mm(水平) 45mm(高度) | |
倉內相機 | 導航相機 | 標配高分辨彩色相機 |
側視相機 | 標配高分辨紅外相機 | |
操作系統 圖片尺寸 | Windows10 (64bit) | |
640×480 | ||
1280×960 | ||
2560×1920 | ||
5120×3840 | ||
10240×7680 |
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