中圖儀器SJ6000激光干涉光學(xué)測量?jì)x測量分辨率可達0.01″，系統測量精度為±1″，基準WR50自動(dòng)精密轉臺重復精度為0.2″。主要由SJ6000激光干涉儀主機、角度鏡組、WR50自動(dòng)精密轉臺、SJ6000回轉軸測量軟件構成。它具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn)，結合不同的光學(xué)鏡組，可實(shí)現線(xiàn)性測長(cháng)、角度、直線(xiàn)度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。在動(dòng)態(tài)測量軟件配合下，還可實(shí)現線(xiàn)性位移、角度和直線(xiàn)度的動(dòng)態(tài)測量與性能檢測，以及進(jìn)行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動(dòng)態(tài)分析，如振動(dòng)分析、絲桿導軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅動(dòng)系統的響應特性分析等。

SJ6000激光干涉光學(xué)測量?jì)x是一個(gè)交流測試系統，當激光光束強度受環(huán)境影響發(fā)生變化時(shí)，其頻率不會(huì )受光強變化影響發(fā)生變化，也不會(huì )因電平變化造成干涉信號的頻率改變。因此，它的干擾能力強，精度高，測量結果可靠，在高精度要求的芯片光刻機、計量檢測和前沿科研領(lǐng)域得到廣泛應用。

性能特點(diǎn)

1.易操作，方便攜帶

SJ6000激光干涉儀和鏡組以及環(huán)境補償器，外形小巧美觀(guān)方便攜帶，一套完整的激光干涉儀和鏡組只需要裝在一個(gè)類(lèi)似于行李箱的工具箱中，整體加起來(lái)的重量在15kg左右，再加上一個(gè)可以自由伸縮調整高度的三腳架（裝在無(wú)紡編織袋中），隨時(shí)隨地可用于機械測量！激光干涉儀與環(huán)境補償器都有端口和計算機USB接口相連，實(shí)時(shí)傳遞檢測數據，供計算機檢定軟件測算，檢定過(guò)程輕松易掌握，沒(méi)有復雜的程序設定。

2.高精確度保證動(dòng)態(tài)性能

氦氖激光器持續輸出高穩頻的激光源，再加上環(huán)境補償器，使線(xiàn)性測量的精度穩定在0.5ppm，動(dòng)態(tài)采集數據頻率高達50KHz，測量速度4m/sec，高速測量下的分辨率為1nm，干涉法測量讓您對檢測結果有信心。

3.高品質(zhì)技術(shù)

精心的設計和嚴格把關(guān)的制造，持續提供技術(shù)支持，對產(chǎn)品質(zhì)量保證都顯得尤為重要，售前、售中、售后和全國網(wǎng)絡(luò )支持。

4.適用性和靈活性

SJ6000激光干涉儀架設靈活，對各種復雜結構的機床、平臺和導軌都具有廣泛適用性，測量快速簡(jiǎn)便，減少重復定位測量的時(shí)間，同時(shí)得到準確直觀(guān)的檢測數據。

回轉軸精度測量

三坐標測量

SJ6000激光干涉儀具有豐富的模塊化組件，可根據具體測量需求而選擇不同的組件。其中，線(xiàn)性鏡組為標配，由線(xiàn)性干涉鏡、線(xiàn)性反射鏡和夾緊孔座構成?？蓾M(mǎn)足線(xiàn)性位移設備的定位精度、重復定位精度、反向間隙的測量與分析，以及反向間隙修正和螺距補償。