SuperViewW1光學(xué)三維3D表面輪廓測量?jì)x在同等放大倍率下，測量精度和重復性都高于共聚焦顯微鏡和聚焦成像顯微鏡。在一些納米或者亞納米級別的超高精度加工領(lǐng)域，能達到其它儀器達不到檢測的精度要求。它是以白光干涉技術(shù)為原理、結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過(guò)系統軟件對器件表面3D圖像進(jìn)行數據處理與分析，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數，從而實(shí)現器件表面形貌3D測量。

結果組成：

1、三維表面結構：粗糙度，波紋度，表面結構，缺陷分析，晶粒分析等；

2、二維圖像分析：距離，半徑，斜坡，格子圖，輪廓線(xiàn)等；

3、表界面測量：透明表面形貌，薄膜厚度，透明薄膜下的表面；

4、薄膜和厚膜的臺階高度測量；

5、劃痕形貌，摩擦磨損深度、寬度和體積定量測量；

6、微電子表面分析和MEMS表征。

與臺階儀相比具有以下優(yōu)點(diǎn)：

一是非接觸高精密測量，不會(huì )劃傷甚至破壞工件；

二是測量速度快，不必像探頭逐點(diǎn)進(jìn)行測量；

三是不必作探頭半徑補正，光點(diǎn)位置就是工件表面測量的位置；

四是對高深寬比的溝槽結構，可以快速而精確的得到理想的測量結果。

SuperViewW1光學(xué)三維3D表面輪廓測量?jì)x的重建算法自動(dòng)濾除樣品表面噪點(diǎn)，在硬件系統的配合下，分辨率可達0.1nm。其雙通道氣浮隔振系統設計，既可以接入客戶(hù)現場(chǎng)的穩定氣源也可以采用便攜加壓裝置直接加壓充氣，在無(wú)外接氣源的條件下也可穩定工作，可以有效隔絕地面傳導的振動(dòng)，同時(shí)內部隔振系統能夠有效隔絕聲波振動(dòng)，確保儀器在車(chē)間也能正常工作。