3d光學(xué)輪廓儀SuperView W1是一款用于對各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級測量的檢測儀器。它是以白光干涉技術(shù)為原理、結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過(guò)系統軟件對器件表面3D圖像進(jìn)行數據處理與分析，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數，從而實(shí)現器件表面形貌3D測量的光學(xué)檢測儀器。

產(chǎn)品功能

1）系統光源及壽命：雙LED光源（白光和綠光），10萬(wàn)小時(shí)超長(cháng)壽命，終身無(wú)需更換；

2）測量模式：垂直掃描干涉模式（VSI），相移干涉模式（PSI），結合VSI和PSI的自適應通用測量模式（USI）

3）多區域自動(dòng)分析：自動(dòng)獲取圖案化形貌區域的三維信息（高度、寬度、面積、體積、粗糙度、傾角等），同時(shí)具有自動(dòng)統計分析功能。提供軟件截圖；

4）具備各種類(lèi)型樣品表面微觀(guān)形貌的3D輪廓重建與測量功能；

5）具備表面粗糙度和微觀(guān)輪廓的檢測功能，粗糙度范圍涵蓋0.1nm到數十微米的級別；

6）具備校平、去除形狀、去噪、濾波等數據處理功能；

7）具備粗糙度分析、輪廓分析、結構分析、功能分析等表面參數分析功能；

8）具備自動(dòng)對焦、自動(dòng)測量、自動(dòng)多區域測量、自動(dòng)拼接測量等自動(dòng)化功能；

9）具備一鍵分析、多文件分析等快速、批量分析功能；

10）具備word、excel等數據報表導出功能。

3d光學(xué)輪廓儀SuperView W1

性能特色

1.高精度、高重復性

1）采用光學(xué)干涉技術(shù)、精密Z向掃描模塊和優(yōu)異的3D重建算法組成測量系統，保證測量精度高；

2）隔振系統，能夠有效隔離頻率2Hz以上絕大部分振動(dòng)，消除地面振動(dòng)噪聲和空氣中聲波振動(dòng)噪聲，保障儀器在大部分的生產(chǎn)車(chē)間環(huán)境中能穩定使用，獲得高的測量重復性。

2.一體化操作的測量分析軟件

1）測量與分析同界面操作，無(wú)須切換，測量數據自動(dòng)統計，實(shí)現了快速批量測量的功能；

2）可視化窗口，便于用戶(hù)實(shí)時(shí)觀(guān)察掃描過(guò)程；

3）幾何分析、粗糙度分析、結構分析、頻率分析、功能分析五大功能模塊齊全；

4）一鍵分析、多文件分析，自由組合分析項保存為分析模板，批量樣品一鍵分析，并提供數據分析與統計圖表功能；

5）可測依據ISO/ASME/EUR/GBT等標準的多達300余種2D、3D參數。

3.精密操縱手柄

　　集成X、Y、Z三個(gè)方向位移調整功能的操縱手柄，可快速完成載物臺平移、Z向聚焦、找條紋等測量前工作。

4.雙重防撞保護措施

　　除初級的軟件ZSTOP設置Z向位移下限位進(jìn)行防撞保護外，另在Z軸上設計有機械電子傳感器，當鏡頭觸碰到樣品表面時(shí)，儀器自動(dòng)進(jìn)入緊急停止狀態(tài)，最大限度的保護儀器，降低人為操作風(fēng)險。

5.雙通道氣浮隔振系統

　　既可以接入客戶(hù)現場(chǎng)的穩定氣源也可以接入標配空壓機，在無(wú)外接氣源的條件下也可穩定工作。