傳統的探針測量方法只能獲取到被測件少量的點(diǎn)數據，效率低，無(wú)法滿(mǎn)足現代工業(yè)數字化的測量需求。而基于白光干涉技術(shù)的白光干涉儀可以進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像的測量過(guò)程，通過(guò)系統軟件分析器件表面3D圖像并進(jìn)行數據處理與分析，實(shí)現了器件表面形貌3D測量的效率高與簡(jiǎn)化性，提高了測量效率，且降低了系統的復雜性。

中圖儀器的SuperView W1白光干涉儀檢測設備以白光干涉技術(shù)為原理，結合3D 建模算法、精密Z向掃描模塊等對器件表面進(jìn)行非接觸式掃描，同時(shí)通過(guò)系統軟件建立表面3D圖像，之后進(jìn)行數據處理與分析，獲取參數，實(shí)現器件表面形貌3D測量。

產(chǎn)品功能

1）具備各種類(lèi)型樣品表面微觀(guān)形貌的3D輪廓重建與測量功能；

2）具備表面粗糙度和微觀(guān)輪廓的檢測功能，粗糙度范圍涵蓋0.1nm到數十微米的級別；

3）具備校平、去除形狀、去噪、濾波等數據處理功能；

4）具備粗糙度分析、輪廓分析、結構分析、功能分析等表面參數分析功能；

5）具備自動(dòng)對焦、自動(dòng)測量、自動(dòng)多區域測量、自動(dòng)拼接測量等自動(dòng)化功能；

6）具備一鍵分析、多文件分析等快速、批量分析功能；

7）具備word、excel等數據報表導出功能。

SuperView W1白光干涉儀檢測設備分辨率0.1μm，重復性0.1%，應用領(lǐng)域廣泛，操作簡(jiǎn)便，可自動(dòng)聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數。

注意事項

1、現場(chǎng)開(kāi)箱后，核對設備型號、配件規格與數量；確認外觀(guān)無(wú)劃傷或掉漆；確認各部件有無(wú)損壞或異常。
2、使用中圖儀器專(zhuān)用玻璃標準器進(jìn)行設備的校準，確認儀器符合技術(shù)協(xié)會(huì )的要求。
3、驗收標準參照現行國家（或行業(yè)）標準以及本技術(shù)協(xié)議為準。
4、驗收合格后，供方需和需方簽訂《產(chǎn)品驗收報告》。