用于材料科學(xué)領(lǐng)域的共聚焦顯微鏡，基于光學(xué)共軛共焦原理，其超高的空間分辨率和三維成像能力，提供了全新的視角和解決方案。

工作原理

共聚焦顯微鏡通過(guò)在樣品的焦點(diǎn)處聚焦激光束，在樣品表面進(jìn)行快速點(diǎn)掃描并逐層獲取不同高度處清晰焦點(diǎn)并重建出3D真彩圖像，從而進(jìn)行分析。

儀器結構

共聚焦顯微鏡主要有四部分組成：1、顯微鏡光學(xué)系統。2、掃描裝置。3、激光光源。4、檢測系統。整套儀器由計算機控制，各部件之間的操作切換都可在計算機操作平臺界面中方便靈活地進(jìn)行。

一體化操作的測量分析軟件

（1）測量與分析同界面操作，無(wú)須切換，測量數據自動(dòng)統計，實(shí)現了快速批量測量的功能；

（2）可視化窗口，便于用戶(hù)實(shí)時(shí)觀(guān)察掃描過(guò)程；

（3）結合自定義分析模板的自動(dòng)化測量功能，可自動(dòng)完成多區域的測量與分析過(guò)程；

（4）幾何分析、粗糙度分析、結構分析、頻率分析、功能分析五大功能模塊齊全；

（5）一鍵分析、多文件分析，自由組合分析項保存為分析模板，批量樣品一鍵分析，并提供數據分析與統計圖表功能；

（6）可測依據ISO/ASME/EUR/GBT等標準的多達300余種2D、3D參數。

特點(diǎn)與應用解析

共聚焦顯微鏡最大的特點(diǎn)是在成像時(shí)只獲取來(lái)自樣品的一個(gè)薄層，而剩余的光信號被消除，從而消除了深度模糊現象，獲得了超高的空間分辨率。這一特性使共聚焦顯微鏡對大坡度的產(chǎn)品有更好的成像效果，一般用于略粗糙度的工件表面的微觀(guān)形貌檢測，分析粗糙度、凹坑瑕疵、溝槽等參數。

VT6000共聚焦顯微鏡共聚焦顯微鏡以轉盤(pán)共聚焦光學(xué)系統為基礎，結合高穩定性結構設計和3D重建算法，共同組成測量系統。高度顯示分辨率達到0.5nm，具有很強的縱向深度的分辨能力。如在光伏行業(yè)中，不僅可以對柵線(xiàn)進(jìn)行快速檢測，還可以對電池板絨面這種表面反射率低且形貌復雜的樣品進(jìn)行三維形貌重建。

此外還具備表征微觀(guān)形貌的輪廓尺寸測量功能。

應用領(lǐng)域

在材料學(xué)領(lǐng)域，共聚焦顯微鏡能夠用來(lái)觀(guān)察材料的三維結構和特性?？蓪Ω鞣N產(chǎn)品、部件和材料表面的面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、平面度、粗糙度、波紋度、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。

通過(guò)共聚焦顯微鏡超高分辨率的三維顯微成像測量，可以清晰地觀(guān)察到材料的表面形貌、表層結構和納米尺度的缺陷。這對于理解材料的微觀(guān)特性和材料工程設計具有重要意義。