臺階儀通過(guò)掃描被測樣品表面，獲取高分辨率的表面形貌數據，能夠揭示微觀(guān)結構的特征和性能。

了解工作原理和性能特點(diǎn)

臺階儀利用掃描探針在樣品表面上進(jìn)行微觀(guān)測量，通過(guò)探測探針和樣品表面之間的相互作用力，獲取表面形貌信息。具體而言，掃描探針通過(guò)細微的力變化，測量樣品表面的起伏程度以及凹凸部分的高度差。然后通過(guò)數據處理，形成高分辨率的圖像。

它能夠實(shí)現納米級別的測量，對微觀(guān)結構的細節進(jìn)行觀(guān)測和分析，揭示出表面的微觀(guān)特征；還具備高速掃描的能力，實(shí)現快速獲取樣品的形貌數據。

功能和作用介紹

作為一款超精密接觸式微觀(guān)輪廓測量?jì)x，臺階儀可以對微米和納米結構進(jìn)行膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波紋和表面粗糙度等的測量。測量參數：

（1）臺階高度：能夠測量納米到330μm甚至1000μm的臺階高度；

（2）粗糙度與波紋度：可獲取粗糙度與波紋度相關(guān)的Ra、RMS、Rv、Rp、Rz等20余項參數；

（3）翹曲與形狀：能夠測量樣品表面的2D形狀或翹曲。

臺階儀的應用

臺階儀具有廣泛的適用范圍，在科學(xué)研究、材料表征、納米技術(shù)、半導體制造等領(lǐng)域都有應用。如在半導體制造中，臺階儀可以用于檢測半導體材料表面的缺陷和形貌，為半導體器件的開(kāi)發(fā)和生產(chǎn)提供可靠的數據參考。

測量晶圓表面粗糙度

臺階儀具備出色的精確性和穩定性，而且樣品適應面廣，對測量工件的表面反光特性、材料種類(lèi)、材料硬度都沒(méi)有特別要求。在材料科學(xué)、制造業(yè)、科研等領(lǐng)域都有著(zhù)重要的應用價(jià)值。相信隨著(zhù)科技的不斷發(fā)展，臺階儀將會(huì )在測量領(lǐng)域發(fā)揮更加重要的作用。

臺階儀優(yōu)勢總結

1、高精度的測量能力

臺階儀在微觀(guān)表面形貌的測量中非常準確，能夠滿(mǎn)足高精度測量的需求。CP系列臺階儀具有亞埃級分辨率，結合單拱龍門(mén)式設計降低環(huán)境噪聲干擾，確保儀器具有良好的測量精度及重復性。其500萬(wàn)像素高分辨率彩色攝像機，即時(shí)進(jìn)行高精度定位測量。

采用具有超微力可調和亞納米級分辨率的臺階儀測量ITO膜厚，高精度測量同時(shí)不損傷樣件本身。

2、快速測量的能力

臺階儀配備精密XY位移臺、360°電動(dòng)旋轉平臺和電動(dòng)升降Z軸，可對樣品的XYZ、角度等空間姿態(tài)進(jìn)行調節，提高測量精度及效率?？焖佾@取表面的高程數據，將測量結果以圖形的形式展現出來(lái)。這提高了測量效率，減少了測量時(shí)間。

3、廣泛的適用范圍

臺階儀可以對各種不同材料的表面進(jìn)行測量，包括金屬、塑料、玻璃等材料。不管是平坦的表面還是曲面，臺階儀都能夠輕松應對，確保測量結果的準確性和可靠性。

典型應用