對于現代愈發(fā)復雜的工藝檢測，諸如半導體、電子封裝及光學(xué)加工等產(chǎn)業(yè)中，由于表面微觀(guān)輪廓結構的準確性決定著(zhù)產(chǎn)品的功能和效能，所以不管是拋光表面還是粗糙表面的工件（諸如半導體硅片及器件、薄膜厚度、光學(xué)器件表面、其他材料分析及微表面研究），都需要測量斷差高度、粗糙度、薄膜厚度及平整度、體積、線(xiàn)寬等。

同為微納米級表面光學(xué)分析儀器，白光干涉儀和激光共聚焦顯微鏡都具有非接觸式、高速度測量、高穩定性的特點(diǎn)，都有表征微觀(guān)形貌的輪廓尺寸測量功能，適用范圍廣，可測多種類(lèi)型樣品的表面微細結構。但白光干涉儀與共聚焦顯微鏡還是有著(zhù)不同之處。

1、測量原理

白光干涉儀是以白光干涉技術(shù)為原理，實(shí)現器件亞納米級表面形貌測量的光學(xué)檢測儀器；

共聚焦顯微鏡是以共聚焦技術(shù)為原理，實(shí)現器件微納米級表面形貌測量的光學(xué)檢測儀。

共焦顯微鏡光路示意圖

2、應用

白光干涉儀多用于測量大范圍光滑的樣品，尤其擅長(cháng)亞納米級超光滑表面的檢測，追求檢測數值的準確；（SuperViewW1白光干涉儀測量行程有140*100*100㎜，對于測量物體整個(gè)區域表面情況，還可以使用自動(dòng)拼接測量、定位自動(dòng)多區域測量功能。拼接測量功能3軸光柵閉環(huán)反饋，在樣品表面抽取多個(gè)區域測量，就可以快速實(shí)現大區域、高精度的測量，從而對樣品進(jìn)行評估分析。）

超光滑透鏡測量

自動(dòng)拼接功能

大尺寸樣品拼接測量

而VT6000激光共聚焦顯微鏡更容易測陡峭邊緣，擅長(cháng)微納級粗糙輪廓的檢測，雖在檢測分辨率上略遜，但成像圖色彩斑斕，便于觀(guān)察。

共聚焦顯微鏡能做什么

白光干涉儀測三維形貌