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SJ6000激光干涉位移測量?jì)x在動(dòng)態(tài)測量軟件配合下，可實(shí)現線(xiàn)性位移、角度和直線(xiàn)度的動(dòng)態(tài)測量與性能檢測，以及進(jìn)行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動(dòng)態(tài)分析，如振動(dòng)分析、絲桿導軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅動(dòng)系統的響應特性分析等。

SJ6000導軌誤差激光干涉測量?jì)x具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn)，結合不同的光學(xué)鏡組，可實(shí)現線(xiàn)性測長(cháng)、角度、直線(xiàn)度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。

SJ6000高精度環(huán)境補償激光干涉儀采用高精度環(huán)境補償模塊，可實(shí)現激光波長(cháng)和材料的自動(dòng)補償。

SJ6000三坐標幾何誤差激光干涉測量?jì)x利用激光干涉現象來(lái)實(shí)現非接觸式測量，具有高精度、高分辨率、快速測量等優(yōu)點(diǎn)?？梢詸z測三坐標測量機等精密運動(dòng)設備其導軌的線(xiàn)性定位精度、重復定位精度等，以及導軌的俯仰角、扭擺角、直線(xiàn)度、垂直度等。

SJ6000數控機床精度激光干涉檢測儀集光、機、電、計算機等技術(shù)于一體，采用激光雙縱模熱穩頻技術(shù)，具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn)。

SJ6000激光干涉儀精密測量及校準系統利用激光干涉現象來(lái)實(shí)現非接觸式測量，具有高精度、高分辨率、快速測量等優(yōu)點(diǎn)。結合不同的光學(xué)鏡組，可實(shí)現線(xiàn)性測長(cháng)、角度、直線(xiàn)度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。