中圖儀器VT6000共聚焦三維光學(xué)輪廓顯微鏡是基于光學(xué)共軛共焦原理，結合精密縱向掃描，以在樣品表面進(jìn)行快速點(diǎn)掃描并逐層獲取不同高度處清晰焦點(diǎn)并重建出3D真彩圖像，從而進(jìn)行分析。一般用于略粗糙度的工件表面的微觀(guān)形貌檢測，可分析粗糙度、凹坑瑕疵、溝槽等參數。

VT6000共聚焦三維光學(xué)輪廓顯微鏡可廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料制造、汽車(chē)零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中?？蓽y各類(lèi)包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀(guān)幾何輪廓、曲率等。

產(chǎn)品功能

1)3D測量功能：設備具備表征微觀(guān)3D形貌的輪廓尺寸及粗糙度測量功能；

2)影像測量功能：設備具備二維平面輪廓尺寸的影像測量功能，可進(jìn)行長(cháng)度、角度、半徑等尺寸測量；

3)自動(dòng)拼接功能：設備具備自動(dòng)拼接功能，能夠實(shí)現大區域的拼接縫合測量；

4)數據處理功能：設備具備調整位置、糾正、濾波、提取四大模塊的數據處理功能；

5)分析工具功能：設備具備粗糙度分析、幾何輪廓分析、結構分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能；

6)批量分析功能：設備具備一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能，可實(shí)現批量數據文件的快速分析功能；

7)便捷操作功能：設備配備操縱桿，支持操縱桿進(jìn)行所有位置軸的操作及速度調節、光源亮度調節、急停等；

8)光源安全功能：光源設置無(wú)人值守下的自動(dòng)熄燈功能，當檢測到鼠標軌跡長(cháng)時(shí)間未變動(dòng)后會(huì )自主降低熄滅光源，防止光源高亮過(guò)熱損壞，并有效延長(cháng)光源使用壽命；

9)鏡頭安全功能：設備配備壓力傳感器，并在鏡頭處進(jìn)行了彈簧結構設計，確保當鏡頭碰撞后彈性回縮，進(jìn)入急停狀態(tài)，大幅減小碰撞沖擊力，有效保護鏡頭和掃描軸，消除人為操作的安全風(fēng)險。

不同應用場(chǎng)景下的3D形貌

主要應用于半導體、光學(xué)膜材、顯示行業(yè)、超精密加工等諸多領(lǐng)域中的微觀(guān)形貌和輪廓尺寸檢測中，其次是對表面粗糙度、面積、體積等參數的檢測中。

3D形貌圖片：

影像測量功能界面

VT6000共聚焦顯微鏡能夠清晰地展示微小物體的圖像形態(tài)細節，顯示出精細的細節圖像。它具有直觀(guān)測量的特點(diǎn)，能夠有效提高工作效率，更加快捷準確地完成日常任務(wù)。借助共聚焦顯微鏡，能有效提高工作效率，實(shí)現更準確的操作。

部分技術(shù)指標

懇請注意：因市場(chǎng)發(fā)展和產(chǎn)品開(kāi)發(fā)的需要，本產(chǎn)品資料中有關(guān)內容可能會(huì )根據實(shí)際情況隨時(shí)更新或修改，恕不另行通知，不便之處敬請諒解。

如有疑問(wèn)或需要更多詳細信息，請隨時(shí)聯(lián)系中圖儀器咨詢(xún)。