中圖儀器SJ6000設備直線(xiàn)度激光干涉測量?jì)x利用激光干涉現象來(lái)實(shí)現非接觸式測量，具有高精度、高分辨率、快速測量等優(yōu)點(diǎn)。它結合不同的光學(xué)鏡組，可實(shí)現線(xiàn)性測長(cháng)、角度、直線(xiàn)度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。在SJ6000激光干涉儀動(dòng)態(tài)測量軟件配合下，可實(shí)現線(xiàn)性位移、角度和直線(xiàn)度的動(dòng)態(tài)測量與性能檢測，以及進(jìn)行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動(dòng)態(tài)分析，如振動(dòng)分析、絲桿導軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅動(dòng)系統的響應特性分析等。

SJ6000設備直線(xiàn)度激光干涉測量?jì)x適用于各種復雜的運動(dòng)系統，不僅僅局限于運動(dòng)導軌，還可以檢測數控機床、三坐標測量機等精密運動(dòng)設備其導軌的線(xiàn)性定位精度、重復定位精度等，以及導軌的俯仰角、扭擺角、直線(xiàn)度、垂直度等。幫助企業(yè)提高設備性能，減少維護成本和停機時(shí)間，為制造業(yè)提供了一種精密的測量檢測方式。

產(chǎn)品功能

（1）可實(shí)現線(xiàn)性、角度、直線(xiàn)度、垂直度、平行度、平面度、回轉軸等幾何參量的高精密測量；

（2）可檢測數控機床、三坐標測量機等精密運動(dòng)設備其導軌的線(xiàn)性定位精度、重復定位精度等，以及導軌的俯仰角、扭擺角、直線(xiàn)度、垂直度等；

（3）可實(shí)現對機床回轉軸的測量與校準；

（4）可根據用戶(hù)設定的補償方式自動(dòng)生成誤差補償表，為設備誤差修正提供依據；

（5）具有動(dòng)態(tài)測量與分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等，可進(jìn)行振動(dòng)分析、絲桿導軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅動(dòng)系統的響應特性分析等；

（6）支持手動(dòng)或自動(dòng)進(jìn)行環(huán)境補償。

產(chǎn)品配置

SJ6000激光干涉儀系統具有豐富的模塊化組件，可根據具體測量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列，依次為線(xiàn)性鏡組、角度鏡組、直線(xiàn)度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動(dòng)精密轉臺。

主要鏡組圖

其中，線(xiàn)性鏡組為標配，由線(xiàn)性干涉鏡、線(xiàn)性反射鏡和夾緊孔座構成?？蓾M(mǎn)足線(xiàn)性位移設備的定位精度、重復定位精度、反向間隙的測量與分析，以及反向間隙修正和螺距補償。

線(xiàn)性測量應用

SJ6000激光干涉儀廣泛應用于機床、三坐標、機器人、3D打印設備、自動(dòng)化設備、線(xiàn)性位移平臺、精密機械設備、精密檢測儀器等領(lǐng)域的線(xiàn)性測量。

部分技術(shù)指標

主機

穩頻精度：0.05ppm

動(dòng)態(tài)采集頻率：50 kHz

預熱時(shí)間：≤ 6分鐘

工作溫度范圍：(0~40)℃

存儲溫度范圍：(-20~70)℃

環(huán)境濕度：(0~95)%RH

環(huán)境補償單元

空氣溫度傳感器：±0.1℃ (0~40)℃，分辨力0.01℃

材料溫度傳感器：±0.1℃ (0~55)℃，分辨力0.01℃

空氣濕度傳感器：±6%RH (0~95)%RH

大氣壓力傳感器：±0.1kPa (65~115)kPa

線(xiàn)性測量距離：(0~80)m (無(wú)需遠距離線(xiàn)性附件)

角度測量范圍：±10°

平面度測量范圍：±1.5mm

直線(xiàn)度測量范圍：±3mm

垂直度測量范圍：±3/M mm/m

便攜箱尺寸：613*460*230mm

標準配置重量：18kg

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