SuperViewW系列3d自動(dòng)光學(xué)輪廓測量?jì)x具有測量精度高、操作便捷、功能齊全、測量參數涵蓋面廣的優(yōu)點(diǎn)，測量單個(gè)精細器件的過(guò)程用時(shí)短，確保了高款率檢測。特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細器件表面的測量。廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車(chē)零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中。

SuperViewW系列3d自動(dòng)光學(xué)輪廓測量?jì)x可測各類(lèi)從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀(guān)幾何輪廓、曲率等，提供依據ISO/ASME/EUR/GBT四大國內外標準共計300余種2D、3D參數作為評價(jià)標準。

產(chǎn)品功能

(1)設備提供表征微觀(guān)形貌的粗糙度和臺階高、角度等輪廓尺寸測量功能；

(2)測量中提供自動(dòng)對焦、自動(dòng)找條紋、自動(dòng)調亮度等自動(dòng)化輔助功能；

(3)測量中提供自動(dòng)拼接測量、定位自動(dòng)多區域測量功能；

(4)分析中提供校平、圖像修描、去噪和濾波、區域提取等四大模塊的數據處理功能；

(5)分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結構分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能；

(6)分析中同時(shí)提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能。

應用領(lǐng)域

對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。

應用范例：

SuperViewW光學(xué)輪廓儀基于白光干涉原理，以3D非接觸方式，測量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數和尺寸，典型結果包括：

表面形貌（粗糙度，平面度，平行度，臺階高度，錐角等等）；

幾何特征（關(guān)鍵孔徑尺寸，曲率半徑，特征區域的面積和體積，特征圖形的位置和數量等等）。

部分技術(shù)指標

如有疑問(wèn)或需要更多詳細信息，請隨時(shí)聯(lián)系中圖儀器咨詢(xún)。