單頻激光干涉儀sj6000自動(dòng)采集數據，避免人為讀數誤差，精度高；測量過(guò)程全自動(dòng)化，效率高；可測量任意方向的回轉軸，可測量任意角度間隔，通用性強；可自動(dòng)生成誤差曲線(xiàn)和補償數據，根據不同標準自動(dòng)計算定位精度結果，無(wú)需人工計算。

單頻激光干涉儀sj6000結合不同的光學(xué)鏡組，可實(shí)現線(xiàn)性測長(cháng)、角度、直線(xiàn)度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。在動(dòng)態(tài)測量軟件配合下，可實(shí)現線(xiàn)性位移、角度和直線(xiàn)度的動(dòng)態(tài)測量與性能檢測，以及進(jìn)行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動(dòng)態(tài)分析，如振動(dòng)分析、絲桿導軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅動(dòng)系統的響應特性分析等。

性能特點(diǎn)

1.測量精度高、速度快，穩定性好

（1）使用高性能氦氖激光器，結合伺服穩頻控制系統，達到高精度穩頻(0.05ppm)

（2）以光波長(cháng)為測量單位，分辨率可達nm級

（3）使用高速光電信號采樣和處理技術(shù)，測量速度可達到4m/s。

（4）配合有環(huán)境補償單元，在環(huán)境變化的情況下，也可以得到較高的測量精度

（5）分離式干涉鏡設計，避免了測量鏡組由于主機發(fā)熱而引起的鏡組形變

2. 應用范圍廣

（1）可以實(shí)現線(xiàn)性、角度、直線(xiàn)度、垂直度、平面度等幾何量的檢測

（2）結合軟件系統，可以用于速度，加速度，振動(dòng)分析以及穩定度等分析

（3）可實(shí)時(shí)監控精密加工機床等機器的動(dòng)態(tài)數據，進(jìn)行動(dòng)態(tài)特性分析

3.軟件界面友好

（1）使用當前熱門(mén)的軟件界面開(kāi)發(fā)工具，軟件界面人性化，操作簡(jiǎn)單。

（2）將靜態(tài)測量和動(dòng)態(tài)測量?jì)煞N功能合并到一個(gè)軟件中，更方便用戶(hù)切換測量類(lèi)型。

（3）向導式操作，流程清晰，更符合國內用戶(hù)的使用習慣。

產(chǎn)品配置

SJ6000激光干涉儀系統具有豐富的模塊化組件，可根據具體測量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列，依次為線(xiàn)性鏡組、角度鏡組、直線(xiàn)度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動(dòng)精密轉臺。

主要鏡組圖

其中，線(xiàn)性鏡組為標配，由線(xiàn)性干涉鏡、線(xiàn)性反射鏡和夾緊孔座構成?？蓾M(mǎn)足線(xiàn)性位移設備的定位精度、重復定位精度、反向間隙的測量與分析，以及反向間隙修正和螺距補償。

線(xiàn)性測量功能

線(xiàn)性測量（線(xiàn)性軸位置精度測量的簡(jiǎn)稱(chēng)）配置主要由SJ6000主機、EC20環(huán)境補償單元、線(xiàn)性鏡組、SJ6000靜態(tài)測量軟件等組件構成，可滿(mǎn)足0~80m范圍內的線(xiàn)性測量。其中，線(xiàn)性測量包括定位精度測量、重復定位精度測量和設備反向間隙測量等。

廣泛應用于機床、三坐標、機器人、3D打印設備、自動(dòng)化設備、線(xiàn)性位移平臺、精密機械設備、精密檢測儀器等領(lǐng)域的線(xiàn)性測量。

sj6000激光干涉儀具有高精度、高靈敏度、非接觸式測量等優(yōu)點(diǎn)，集光、機、電、計算機等技術(shù)于一體，在計量領(lǐng)域中可作為長(cháng)度基準以及設備校準工具。廣泛應用于數控機床、激光打標/切割、三坐標、影像儀、精密測量、自動(dòng)化、機器人、3D打印等領(lǐng)域。