SJ6000納米精度激光干涉儀采用高性能的穩頻氦氖激光器，采用邁克爾遜干涉原理的測量?jì)x器。具有測量精度高、量程大、速度快、靈敏度高、抗擾力強等優(yōu)點(diǎn)。在計量領(lǐng)域中可作為長(cháng)度基準以及設備校準工具。廣泛應用于數控機床、激光打標/切割、三坐標、影像儀、精密測量、自動(dòng)化、機器人、3D打印等領(lǐng)域。

產(chǎn)品功能

1、可實(shí)現線(xiàn)性、角度、直線(xiàn)度、垂直度、平行度、平面度、回轉軸等幾何參量的高精密測量；

2、可檢測數控機床、三坐標測量機等精密運動(dòng)設備其導軌的線(xiàn)性定位精度、重復定位精度等，以及導軌的俯仰角、扭擺角、直線(xiàn)度、垂直度等；

3、可實(shí)現龍門(mén)機床雙軸同步測量；

4、可實(shí)現對機床回轉軸的測量與校準；

5、可根據用戶(hù)設定的補償方式自動(dòng)生成誤差補償表，為設備誤差修正提供依據；

6、具有動(dòng)態(tài)測量與分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等，可進(jìn)行振動(dòng)分析、絲桿導軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅動(dòng)系統的響應特性分析等；

7、支持手動(dòng)或自動(dòng)進(jìn)行環(huán)境補償。

SJ6000納米精度激光干涉儀檢測集光、機、電、計算機等技術(shù)于一體，具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn)，結合不同的光學(xué)鏡組，可實(shí)現線(xiàn)性測長(cháng)、角度、直線(xiàn)度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。在SJ6000激光干涉儀動(dòng)態(tài)測量軟件配合下，可實(shí)現線(xiàn)性位移、角度和直線(xiàn)度的動(dòng)態(tài)測量與性能檢測，以及進(jìn)行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動(dòng)態(tài)分析，如振動(dòng)分析、絲桿導軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅動(dòng)系統的響應特性分析等。

產(chǎn)品配置

SJ6000激光干涉儀系統具有豐富的模塊化組件，可根據具體測量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列，依次為線(xiàn)性鏡組、角度鏡組、直線(xiàn)度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動(dòng)精密轉臺。

主要鏡組圖

其中，線(xiàn)性鏡組為標配，由線(xiàn)性干涉鏡、線(xiàn)性反射鏡和夾緊孔座構成?？蓾M(mǎn)足線(xiàn)性位移設備的定位精度、重復定位精度、反向間隙的測量與分析，以及反向間隙修正和螺距補償。

線(xiàn)性測量配置及使用方法

線(xiàn)性測量（線(xiàn)性軸位置精度測量的簡(jiǎn)稱(chēng)）配置主要由SJ6000主機、EC20環(huán)境補償單元、線(xiàn)性鏡組、SJ6000靜態(tài)測量軟件等組件構成，可滿(mǎn)足0~80m范圍內的線(xiàn)性測量。其中，線(xiàn)性測量包括定位精度測量、重復定位精度測量和設備反向間隙測量等。

SJ6000靜態(tài)測量軟件可以將線(xiàn)性測量結果生成誤差補償表，該表涵蓋了各個(gè)測量點(diǎn)的補償值，運動(dòng)控制系統制造商允許通過(guò)修改運動(dòng)軸的補償值來(lái)消除該運動(dòng)軸的位置誤差，精確的補償，可以有效地降低運動(dòng)軸的位置誤差。

線(xiàn)性測量中目標位置的數據采集有基于位置的目標采集和基于時(shí)間的目標采集兩種方式，普遍采用基于位置的目標采集方式，即：被測運動(dòng)軸需設定若干個(gè)等距的定位點(diǎn)，當運動(dòng)軸移動(dòng)到設定的定位點(diǎn)時(shí)，需設置停留時(shí)間，以供SJ6000測量軟件進(jìn)行當前點(diǎn)的數據采集。

線(xiàn)性測量應用

SJ6000激光干涉儀廣泛應用于機床、三坐標、機器人、3D打印設備、自動(dòng)化設備、線(xiàn)性位移平臺、精密機械設備、精密檢測儀器等領(lǐng)域的線(xiàn)性測量。

技術(shù)規格