激光干涉儀具有高精度、高靈敏度、非接觸式測量等優(yōu)點(diǎn)，被廣泛應用于工程和科研領(lǐng)域。在工程領(lǐng)域，它可以用于測量材料變形、振動(dòng)、熱膨脹等力學(xué)特性；在科研領(lǐng)域，可以用于光學(xué)元件表面形貌、復雜形狀的物體三維形貌和運動(dòng)學(xué)研究等。

中圖超精密激光干涉儀sj6000集光、機、電、計算機等技術(shù)于一體，采用激光雙縱模熱穩頻技術(shù)，可實(shí)現高精度、抗擾力強、長(cháng)期穩定性好的激光頻率輸出。結合不同的光學(xué)鏡組，可實(shí)現線(xiàn)性測長(cháng)、角度、直線(xiàn)度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。在SJ6000激光干涉儀動(dòng)態(tài)測量軟件配合下，可實(shí)現線(xiàn)性位移、角度和直線(xiàn)度的動(dòng)態(tài)測量與性能檢測，以及進(jìn)行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動(dòng)態(tài)分析，如振動(dòng)分析、絲桿導軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅動(dòng)系統的響應特性分析等。

產(chǎn)品配置

SJ6000激光干涉儀系統具有豐富的模塊化組件，可根據具體測量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列，依次為線(xiàn)性鏡組、角度鏡組、直線(xiàn)度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動(dòng)精密轉臺。

主要鏡組圖

其中，線(xiàn)性鏡組為標配，由線(xiàn)性干涉鏡、線(xiàn)性反射鏡和夾緊孔座構成?？蓾M(mǎn)足線(xiàn)性位移設備的定位精度、重復定位精度、反向間隙的測量與分析，以及反向間隙修正和螺距補償。

線(xiàn)性測量配置及使用方法

線(xiàn)性測量（線(xiàn)性軸位置精度測量的簡(jiǎn)稱(chēng)）配置主要由SJ6000主機、EC20環(huán)境補償單元、線(xiàn)性鏡組、SJ6000靜態(tài)測量軟件等組件構成，可滿(mǎn)足0~80m范圍內的線(xiàn)性測量。其中，線(xiàn)性測量包括定位精度測量、重復定位精度測量和設備反向間隙測量等。

SJ6000靜態(tài)測量軟件可以將線(xiàn)性測量結果生成誤差補償表，該表涵蓋了各個(gè)測量點(diǎn)的補償值，運動(dòng)控制系統制造商允許通過(guò)修改運動(dòng)軸的補償值來(lái)消除該運動(dòng)軸的位置誤差，精確的補償，可以有效地降低運動(dòng)軸的位置誤差。

線(xiàn)性測量應用

中圖超精密激光干涉儀sj6000廣泛應用于機床、三坐標、機器人、3D打印設備、自動(dòng)化設備、線(xiàn)性位移平臺、精密機械設備、精密檢測儀器等領(lǐng)域的線(xiàn)性測量。

檢定測長(cháng)機

測量三坐標

技術(shù)規格

產(chǎn)品功能

（1）可實(shí)現線(xiàn)性、角度、直線(xiàn)度、垂直度、平行度、平面度、回轉軸等幾何參量的高精密測量；

（2）可檢測數控機床、三坐標測量機等精密運動(dòng)設備其導軌的線(xiàn)性定位精度、重復定位精度等，以及導軌的俯仰角、扭擺角、直線(xiàn)度、垂直度等；

（3）可實(shí)現對機床回轉軸的測量與校準；

（4）可根據用戶(hù)設定的補償方式自動(dòng)生成誤差補償表，為設備誤差修正提供依據；

（5）具有動(dòng)態(tài)測量與分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等，可進(jìn)行振動(dòng)分析、絲桿導軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅動(dòng)系統的響應特性分析等；

（6）支持手動(dòng)或自動(dòng)進(jìn)行環(huán)境補償。