SJ6000高精度激光干涉儀以干涉技術(shù)為核心，其光波可直接對米進(jìn)行定義。采用激光雙縱模熱穩頻技術(shù)，可實(shí)現高精度、抗干擾能力強、長(cháng)期穩定性好的激光頻率輸出；采用高精度環(huán)境補償模塊，可實(shí)現激光波長(cháng)和材料的自動(dòng)補償；干涉鏡與主機分離設計，避免干涉鏡受熱影響，保證干涉光路穩定可靠。

SJ6000高精度激光干涉儀除了環(huán)境適應能力好，還可以進(jìn)行動(dòng)態(tài)高速測量，選配相應的功能模塊元件后還可以測量振動(dòng)幅度、平面度、線(xiàn)速度、角速度等。

功能廣

可實(shí)現線(xiàn)性、角度、直線(xiàn)度、垂直度、平行度、平面度、回轉軸等幾何參量的高精密測量；

可檢測數控機床、三坐標測量機等精密運動(dòng)設備其導軌的線(xiàn)性定位精度、重復定位精度等，以及導軌的俯仰角、扭擺角、直線(xiàn)度、垂直度等；

可實(shí)現龍門(mén)機床雙軸同步測量；

可實(shí)現對機床回轉軸的測量與校準；

可根據用戶(hù)設定的補償方式自動(dòng)生成誤差補償表，為設備誤差修正提供依據；

具有動(dòng)態(tài)測量與分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等，可進(jìn)行振動(dòng)分析、絲桿導軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅動(dòng)系統的響應特性分析等；

支持手動(dòng)或自動(dòng)進(jìn)行環(huán)境補償。

對機床精度再校準

導軌直線(xiàn)度檢測

技術(shù)規格

軟件強

友好的人機界面；

豐富的應用功能模塊；

向導式的操作流程；

簡(jiǎn)潔化的記錄管理；

支持中文、英文和俄文界面；

支持企業(yè)專(zhuān)屬模板定制。

EC20環(huán)境補償單元

中圖儀器SJ6000激光干涉儀配備的EC20環(huán)境補償單元，由環(huán)境補償主機（內置濕度傳感器和氣壓傳感器）、空氣溫度傳感器和3個(gè)材料溫度傳感器組成，可實(shí)現對空氣溫度、濕度、大氣壓力和材料溫度的實(shí)時(shí)高精度檢測。

EC20環(huán)境補償單元

EC20環(huán)境補償單元在出廠(chǎng)前，會(huì )依照相關(guān)計量標準對各環(huán)境參量進(jìn)行精確校準，通常情況下建議24個(gè)月校準一次。在使用EC20環(huán)境補償單元過(guò)程中，在不影響測量光路和被測物體運動(dòng)的前提下，建議將環(huán)境補償主機和空氣溫度探頭就近于測量光路中間處放置。