SuperViewW1光學(xué)輪廓儀白光干涉儀能夠以?xún)?yōu)于納米級的分辨率，對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。儀器具有測量精度高、功能全面、操作便捷、測量參數涵蓋面廣的優(yōu)點(diǎn)，測量單個(gè)精密器件的過(guò)程用時(shí)2分鐘以?xún)?，確保了高款率檢測。并且其特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精密器件表面的測量。

結果組成：

1、三維表面結構：粗糙度，波紋度，表面結構，缺陷分析，晶粒分析等；

2、二維圖像分析：距離，半徑，斜坡，格子圖，輪廓線(xiàn)等；

3、表界面測量：透明表面形貌，薄膜厚度，透明薄膜下的表面；

4、薄膜和厚膜的臺階高度測量；

5、劃痕形貌，摩擦磨損深度、寬度和體積定量測量；

6、微電子表面分析和MEMS表征。

性能特點(diǎn)

1、3D測量

采用白光干涉技術(shù)，結合具有抗噪性能的3D重建算法，真實(shí)還原樣品的每一個(gè)細節，隨意翻轉縮放，輕松觀(guān)察、測量樣品的任意特征。

2、功能全

粗糙度、平面度、孔洞分析等3D測量功能全部囊括，距離、角度、直徑測量等2D輪廓分析功能覆蓋，有依據ISO|ASME|EUR|GBT四大國內外標準的300余種特征參數

3、操作便捷

直觀(guān)的操作界面，操作流程一目了然，自動(dòng)聚焦，一鍵實(shí)現測量過(guò)程；可視化的工作流程樹(shù)，一鍵激活的圖庫管理功能，所見(jiàn)即所得的分析功能，有一鍵分析功能，批量測量不用愁。

4、高重復精度

采用了掃描模塊和內部抗振設計，可實(shí)現高0.05%的測量精度重復性和0.002nm的粗糙度RMS重復性。

W1系列光學(xué)輪廓儀白光干涉儀提供1100單鏡頭手動(dòng)版和1200多鏡頭自動(dòng)版兩種機型，另可針對不同的客戶(hù)需求，在兩種型號間選取不同配置進(jìn)行組合，讓儀器切合客戶(hù)需求，貼心省力。