SuperViewW1粗糙度輪廓光學(xué)測量?jì)x采用光學(xué)干涉技術(shù)、精密Z向掃描模塊和3D重建算法組成測量系統，保證測量精度高?？蓽y各類(lèi)從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀(guān)幾何輪廓、曲率等。

應用領(lǐng)域

對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。

產(chǎn)品功能

1）設備提供表征微觀(guān)形貌的粗糙度和臺階高、角度等輪廓尺寸測量功能；

2）測量中提供自動(dòng)對焦、自動(dòng)找條紋、自動(dòng)調亮度等自動(dòng)化輔助功能；

3）測量中提供自動(dòng)拼接測量、定位自動(dòng)多區域測量功能；

4）分析中提供校平、圖像修描、去噪和濾波、區域提取等四大模塊的數據處理功能；

5）分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結構分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能；

6）分析中同時(shí)提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能。

結果組成

1、三維表面結構：粗糙度，波紋度，表面結構，缺陷分析，晶粒分析等；

2、二維圖像分析：距離，半徑，斜坡，格子圖，輪廓線(xiàn)等；

3、表界面測量：透明表面形貌，薄膜厚度，透明薄膜下的表面；

4、薄膜和厚膜的臺階高度測量；

5、劃痕形貌，摩擦磨損深度、寬度和體積定量測量；

6、微電子表面分析和MEMS表征。

SuperViewW1粗糙度輪廓光學(xué)測量?jì)x非接觸高精密測量，不會(huì )劃傷甚至破壞工件，對高深寬比的溝槽結構，可以快速而精確的得到理想的測量結果。其雙通道氣浮隔振系統設計，既可以接入客戶(hù)現場(chǎng)的穩定氣源也可以采用便攜加壓裝置直接加壓充氣，在無(wú)外接氣源的條件下也可穩定工作，可以有效隔絕地面傳導的振動(dòng)，同時(shí)內部隔振系統能夠有效隔絕聲波振動(dòng)，確保儀器在車(chē)間也能正常工作。