任何機床加工設備，在長(cháng)時(shí)間的使用都會(huì )由于自身磨損或者其它一些原因造成加工超差的發(fā)生。一般出現這種情況時(shí)，就需要使用激光干涉儀進(jìn)行精度的再校準，sj6000激光干涉儀可同時(shí)測量出機床的螺距誤差值和反向間隙（又稱(chēng)背隙），通過(guò)精度再校準，加工精度會(huì )大大提高。

可調轉向鏡應用實(shí)例斜床的傾斜軸測量

輕型線(xiàn)性鏡組附件應用實(shí)例

sj6000激光干涉儀集光、機、電、計算機等技術(shù)于一體，產(chǎn)品采用進(jìn)口高性能氦氖激光器，其壽命可達50000小時(shí)；采用激光雙縱模熱穩頻技術(shù)，可實(shí)現高精度、抗擾力強、長(cháng)期穩定性好的激光頻率輸出；采用高速干涉信號采集、調理及細分技術(shù)，可實(shí)現最高4m/s的測量速度，以及納米級的分辨率；采用高精度環(huán)境補償模塊，可實(shí)現激光波長(cháng)和材料的自動(dòng)補償；采用高性能計算機控制系統及軟件技術(shù)，支持中文、英文和俄文語(yǔ)言，友好的人機界面、向導式的操作流程、簡(jiǎn)潔化的記錄管理。

技術(shù)參數

產(chǎn)品型號：SJ6000

產(chǎn)品名稱(chēng)：SJ6000激光干涉儀

穩頻方式：激光熱穩頻

穩頻精度：0.05ppm

線(xiàn)性測量精度：0.5ppm（0-40）℃

線(xiàn)性測量距離：（0-80）m（無(wú)需遠距離線(xiàn)性附件）

角度測量精度：±不低于±0.04% ±0.5 ±0.1M µm/m

測量分辨力：1nm

動(dòng)態(tài)采集頻率：50KHz

預熱時(shí)間：≤6分鐘

工作溫度范圍：（0-40）℃

環(huán)境溫度范圍：（0-40）℃，環(huán)境濕度：0-95%

主要特點(diǎn)：應用范圍廣、測量精度高、操作方便

生產(chǎn)企業(yè)：深圳市中圖儀器股份有限公司

注釋?zhuān)焊嘣敿毊a(chǎn)品信息，請聯(lián)系我們獲取

通過(guò)與不同的光學(xué)鏡組結合，能實(shí)現對線(xiàn)性、角度、直線(xiàn)度、垂直度、平面度等幾何量的檢測。線(xiàn)性測長(cháng)精度0.5ppm，激光穩頻精度：0.05ppm。在動(dòng)態(tài)測量軟件配合下，還可實(shí)現線(xiàn)性位移、角度和直線(xiàn)度的動(dòng)態(tài)測量與性能檢測，以及進(jìn)行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動(dòng)態(tài)分析，如振動(dòng)分析、絲桿導軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅動(dòng)系統的響應特性分析等。