在微電子、微機械、微光學(xué)等領(lǐng)域，白光干涉儀可以提供更高精度的檢測需求。但白光干涉儀由于鏡頭視野較小，要想測量物體整個(gè)區域的表面情況，只能用自動(dòng)拼接測量功能，但耗時(shí)較多，這時(shí)候可以用自動(dòng)多區域測量功能，在樣品表面抽取多個(gè)測量區域進(jìn)行測量，從而對樣品進(jìn)行評估分析。

中圖儀器SuperViewW1表面光學(xué)輪廓儀自動(dòng)拼接功能的使用，即不管是在光滑還是粗糙、平面亦或是異形結構，當必須測量超出適配鏡頭下的單視場(chǎng)區域時(shí)，都可以采用自動(dòng)拼接，可根據不同表面特點(diǎn)進(jìn)行重建算法的切換，無(wú)論何種形貌，都可生成3D全景。

測量方法很簡(jiǎn)單：

1.點(diǎn)擊XY復位，使得SuperViewW系列表面光學(xué)輪廓儀的鏡頭復位到載物臺中心

2.將被測物放置在載物臺夾具上，被測物中心大致和載物臺中心重合；3.確認電機連接狀態(tài)和環(huán)境噪聲狀態(tài)滿(mǎn)足測量條件；4.使用操縱桿搖桿旋鈕調節鏡頭高度，找到干涉條紋；5.設置好掃描方式和掃描范圍；6.點(diǎn)擊選項圖標，確認自動(dòng)找條紋上下限無(wú)誤；7.點(diǎn)擊多區域測量圖標，可選擇方形和（橢）圓形兩種測量區域形狀；9.根據被測物形狀和尺寸，"形狀"欄選擇“橢圓平面"，X和Y方向按需設置；10.點(diǎn)擊彈出框右下角的“開(kāi)始"圖標，儀器即自動(dòng)完成多個(gè)區域的對焦、找條紋、掃面等操作。

深圳市中圖儀器股份有限公司成立十多年來(lái)，一直堅持以技術(shù)創(chuàng )新為發(fā)展基礎，歷經(jīng)了十多年的技術(shù)積累和發(fā)展實(shí)踐，在微納米運動(dòng)設計制造、微納米顯微測量三維重建、顯微測量3D形貌分析、大尺寸三維空間測量、精密傳感測頭、光柵導軌測控等眾多技術(shù)領(lǐng)域形成了設計、制造優(yōu)勢，具備了從納米到百米為用戶(hù)提供精密測量解決方案的能力。