使測量速度、精確度都大大提高。新機床出廠(chǎng)前都要進(jìn)行定位精度和重復定位精度以及反向間隙的檢測，現在大多使用激光干涉儀進(jìn)行；不管是三軸聯(lián)動(dòng)、五軸聯(lián)動(dòng)還是九軸聯(lián)動(dòng)數控機床，機床在進(jìn)行了長(cháng)時(shí)間運行加工都會(huì )因為導軌滾珠絲桿的磨損等綜合因素，有一定的偏差，導致數控機床的加工精度逐漸偏離標準。激光干涉儀的用途就是專(zhuān)門(mén)用來(lái)測量、校準數控機床、三坐標、自動(dòng)化設備等導軌的運動(dòng)精度，尤其是在數控機床領(lǐng)域，激光干涉儀是強有力的檢測儀器。

中圖儀器研發(fā)生產(chǎn)的SJ6000深圳工業(yè)激光干涉儀，能對機床進(jìn)行校準、補償，可以與機床系統對接進(jìn)行自動(dòng)化測量，將測量誤差導入到數控系統，實(shí)現精度自動(dòng)補償。

產(chǎn)品參數

產(chǎn)品型號：SJ6000

產(chǎn)品名稱(chēng)：SJ6000激光干涉儀

穩頻方式：激光熱穩頻

穩頻精度：0.05ppm

線(xiàn)性測量精度：0.5ppm（0-40）℃

線(xiàn)性測量距離：（0-80）m（無(wú)需遠距離線(xiàn)性附件）

角度測量精度：±不低于±0.04% ±0.5 ±0.1M µm/m

測量分辨力：1nm

動(dòng)態(tài)采集頻率：50KHz

預熱時(shí)間：≤6分鐘

工作溫度范圍：（0-40）℃

環(huán)境溫度范圍：（0-40）℃，環(huán)境濕度：0-95%

主要特點(diǎn)：應用范圍廣、測量精度高、操作方便

技術(shù)參數

SJ6000深圳工業(yè)激光干涉儀具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn)，結合不同的光學(xué)鏡組，可實(shí)現線(xiàn)性測長(cháng)、角度、直線(xiàn)度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。在SJ6000激光干涉儀動(dòng)態(tài)測量軟件配合下，可實(shí)現線(xiàn)性位移、角度和直線(xiàn)度的動(dòng)態(tài)測量與性能檢測，以及進(jìn)行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動(dòng)態(tài)分析，如振動(dòng)分析、絲桿導軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅動(dòng)系統的響應特性分析等。也可以實(shí)現一次安裝即可沿任意方向的線(xiàn)性軸同時(shí)測量5個(gè)自由度的誤差，包括1個(gè)線(xiàn)性誤差、2個(gè)角度誤差和2個(gè)直線(xiàn)度誤差。

測量機床回轉軸精度

測量機床偏擺角度

數控機床精度校準

產(chǎn)品配置與證書(shū)

中圖儀器一直以實(shí)現高精密儀器自主化為己任，在以往中國市場(chǎng)都是國外品牌的激光干涉儀情況下，推出SJ6000激光干涉儀?？蛻?hù)對我們的認可是我們不斷前行的動(dòng)力！未來(lái)，中圖儀器還將專(zhuān)注于精密測量檢測技術(shù)的發(fā)展，自強不息、知難而上、勇于創(chuàng )新！