幾何尺寸測量的精度，直接決定了工業(yè)制造的高度。不論小如芯片，還是大如飛機，精密測量?jì)x器，就像量體裁衣時(shí)裁縫的尺子。深圳一家專(zhuān)精特新企業(yè)里有一位高人，研發(fā)出了能測量從1納米到1百米的工業(yè)“尺子"。

馬俊杰從業(yè)18年來(lái)，雖然只做了15臺測量?jì)x，但每一臺都*具特色。其中測量最快的一臺，叫閃測儀。

深圳中圖儀器股份有限公司董事長(cháng) 馬俊杰：我手上拿的就是手機上一塊精密的結構件，幾秒測量，幾百個(gè)尺寸直接顯示出來(lái)，而且達到了微米級的精度。

馬俊杰畢業(yè)于清華大學(xué)精密儀器專(zhuān)業(yè)，后在研究所工作期間，他發(fā)現實(shí)驗室里的精密儀器全都來(lái)自國外，這讓他產(chǎn)生了創(chuàng )業(yè)做國產(chǎn)幾何測量?jì)x的想法。這臺指示表檢測儀，是馬俊杰當年研發(fā)出的第一款精密測量?jì)x器。

但這些都還不是精度最高的“尺子"。這枚看似光滑的晶圓，放在顯微測量?jì)x下，表面變得錯落有致起來(lái)，經(jīng)過(guò)測量，高度差僅有6.1納米。但它還將被切割成更小的方塊，才能使用。

深圳中圖儀器股份有限公司董事長(cháng) 馬俊杰：這臺儀器它的精度非常高，達到了0.1納米的分辨率，半導體領(lǐng)域已經(jīng)大量使用。

這家企業(yè)的測量絕活可不止于微小領(lǐng)域。馬俊杰的團隊潛心研究6年，研發(fā)出可測百米尺寸的激光跟蹤儀，解決了大型、超大型工件或裝置的高精度測量問(wèn)題。

深圳中圖儀器股份有限公司副總經(jīng)理 張和君：這是一架飛機模型，關(guān)鍵部件測量精度必須控制在0.1毫米至0.2毫米之間，飛機的裝配才能保證嚴絲合縫。激光跟蹤儀是**同時(shí)具有微米級別測量精度，和百米工作空間的高性能光電儀器。

本期專(zhuān)精特新·高人：18年用心打磨15把硬核科技“尺"，從納米到百米，從接觸式到非接觸式。鑄光為尺，見(jiàn)微知著(zhù)，不斷拓展工業(yè)測量領(lǐng)域全尺寸鏈條。

來(lái)源：央視財經(jīng)。