下面我們去看看儀器的工作原理：

　　它是利用光學(xué)顯微技術(shù)、白光干涉掃描技術(shù)、計算機軟件控制技術(shù)和PZT垂直掃描技術(shù)對工件進(jìn)行非接觸測量，還原出工件3D表面形貌宏微觀(guān)信息，并通過(guò)軟件提供的多種工具對表面形貌進(jìn)行各種功能參數數據處理，實(shí)現對各種工件表面形貌的微納米測量和分析的光學(xué)計量?jì)x器。

　　

　　光學(xué)3D輪廓測量?jì)x只需操作者裝好被測工件，在檢定軟件上設定物鏡倍率和測量模式后點(diǎn)擊“開(kāi)始”按鈕，光學(xué)物鏡會(huì )對工件表面進(jìn)行自動(dòng)對焦和非接觸掃描，并按設定的位置進(jìn)行測量，軟件界面會(huì )實(shí)時(shí)掃描物體宏微觀(guān)表面形貌；掃描結束后，操作者可通過(guò)分析工具對生成的3D形貌進(jìn)行分析，得到如輪廓、厚度、粗糙度、體積等多種表面形貌測量分析數據。

　　

　　三維表面輪廓儀根據國際標準計算2D和3D參數，使用的ISO25178標準表面紋理分析，依靠的ISO16610濾除技術(shù)進(jìn)行計算，從而保證了國際公信力。

　　

　　廣泛用于：

　　磨料磨具，航天，汽車(chē)，化妝品，能源，醫療，微機電系統，冶金，造紙和塑料等領(lǐng)域。