機床激光干涉儀是集光、機、電、傳感技術(shù)、信息技術(shù)于一體的經(jīng)典“測控技術(shù)”儀器，是迄今*的高精度、高靈敏度的測量?jì)x器，可以直接對米進(jìn)行定義，可實(shí)現線(xiàn)性測長(cháng)、角度、直線(xiàn)度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量，以及進(jìn)行位移分析、速度分析、加速度分析、FFT分析等動(dòng)態(tài)測量，廣泛應用于先進(jìn)制造、科研院所、精密測量等領(lǐng)域。

　　本產(chǎn)品旋轉軸精度測量系統包含激光頭，角度干涉鏡和角度反射鏡，與平移軸傾斜誤差測量類(lèi)似，只不過(guò)旋轉軸的角度反射鏡是安裝在轉臺組件上，該組件可以繞中心自身旋轉。

　　因此，在測量時(shí)，待測的旋轉軸向正方向旋轉某一個(gè)角度后，轉臺組件會(huì )沿著(zhù)其逆方向精確地旋轉該角度，例如待測軸沿正方向旋轉15°，由于誤差的存在，則可能旋轉（15+Δ）°；此時(shí)，轉臺組件會(huì )沿著(zhù)逆方向精確旋轉，即沿負方向精確旋轉15°，這樣就使得角度干涉鏡可以保持正對著(zhù)激光頭。而誤差Δ就是旋轉軸的定位誤差。

　　機床激光干涉儀的優(yōu)勢特點(diǎn)都有哪些呢？

　　1.測量精度高、速度快，穩定性好

　?、偈褂妹绹咝阅芎つ始す馄?，結合伺服穩頻控制系統，達到高精度穩頻(0.05ppm)

　?、谝怨獠ㄩL(cháng)(633nm)為測量單位，分辨率可達nm級

　?、凼褂酶咚俟怆娦盘柌蓸雍吞幚砑夹g(shù)，測量速度可達到4m/s。

　?、芘浜嫌协h(huán)境補償單元，在環(huán)境變化的情況下，也可以得到較高的測量精度

　?、莘蛛x式干涉鏡設計，避免了測量鏡組由于主機發(fā)熱而引起的鏡組形變

　　2. 應用范圍廣

　?、倏梢詫?shí)現線(xiàn)性、角度、直線(xiàn)度、垂直度、平面度等幾何量的檢測

　?、诮Y合我們的軟件系統，可以用于速度，加速度，振動(dòng)分析以及穩定度等分析

　?、?strong>機床激光干涉儀可實(shí)時(shí)監控精密加工機床等機器的動(dòng)態(tài)數據，進(jìn)行動(dòng)態(tài)特性分析

　　3.軟件界面友好

　?、偈褂卯斍盁衢T(mén)的軟件界面開(kāi)發(fā)工具，軟件界面人性化，操作簡(jiǎn)單。

　?、趯㈧o態(tài)測量和動(dòng)態(tài)測量?jì)煞N功能合并到一個(gè)軟件中，更方便用戶(hù)切換測量類(lèi)型。

　?、巯驅讲僮?，流程清晰，更符合國內用戶(hù)的使用習慣。