當“精度焦慮"成為制造業(yè)的隱形門(mén)檻：

在半導體光刻中，1nm偏差可能導致整片晶圓報廢；

在精密機床加工中，熱變形讓傳統測量工具“失靈"……  

“高精度、高穩定、抗干擾"——工業(yè)超精密制造的三大痛點(diǎn)，如何破局？

PLR3000系列光纖激光尺基于激光干涉測量原理，具有更加精確的柵距和更高的分辨率，同時(shí)其熱源隔離設計，保證了更高的穩定性，同時(shí)具有安裝快捷，易于準直等特點(diǎn)，在微電子、微機械、微光學(xué)等現代超精密加工制造、光刻技術(shù)等高科技領(lǐng)域廣泛應用。

核心優(yōu)勢

1、高精度

分辨率10nm（可拓展），線(xiàn)性測量精度0.2ppm，穩頻精度0.02ppm，滿(mǎn)足納米級測量需求。

環(huán)境氣象站實(shí)時(shí)補償溫度、濕度、氣壓對測量的影響，確保數據長(cháng)期穩定。

2、靈活配置

支持單軸、雙軸、三軸輸出，輕松實(shí)現多自由度測量。

可選差分干涉儀、平面鏡干涉儀、角錐棱鏡干涉儀等多種探頭，適配復雜場(chǎng)景。

3、高穩定性與便捷性

激光光源與探頭分離設計，3米鎧裝光纖連接，避免設備散熱干擾，安裝靈活。

體積小巧，適配狹小空間，降低阿貝誤差風(fēng)險。

4、廣泛適用性

最大量程4米（可拓展），支持動(dòng)態(tài)速度達2m/s，覆蓋從靜態(tài)檢測到高速運動(dòng)場(chǎng)景。

光纖激光尺比傳統光柵精度高10倍，分辨率達原子層級（10nm=100個(gè)原子直徑?。?nbsp; PLR3000 系列光纖激光尺已在多個(gè)客戶(hù)端進(jìn)行精度驗證：用差分干涉（DI）探頭對高精度納米位移臺進(jìn)行閉環(huán)控制，在10mm行程內任意位置實(shí)現納米級位置控制精度。