電動(dòng)輪廓儀作為一種精密測量?jì)x器，在多個(gè)領(lǐng)域中發(fā)揮著(zhù)至關(guān)重要的作用。特別是在半導體制造、3C電子、光學(xué)加工以及航空航天等高精度要求的行業(yè)中，電動(dòng)輪廓儀以其性能和多樣的功能，成為重要的檢測工具。本文將以深圳市中圖儀器股份有限公司的SuperViewW1光學(xué)3D表面電動(dòng)輪廓儀為例，深入探討電動(dòng)輪廓儀的性能特色。

一、高精度與高重復性

電動(dòng)輪廓儀采用了光學(xué)干涉技術(shù)、精密Z向掃描模塊以及先進(jìn)的3D重建算法，共同構成了高精度測量系統。這種組合確保了測量結果的準確性，達到了亞納米級的測量精度，能夠滿(mǎn)足對精密器件及材料表面進(jìn)行高質(zhì)量測量的需求。同時(shí)，通過(guò)優(yōu)異的隔振系統，能夠有效隔離頻率2Hz以上的振動(dòng)，從而消除了地面振動(dòng)噪聲和空氣中聲波振動(dòng)噪聲對測量結果的影響，進(jìn)一步提升了測量的重復性。

二、一體化操作的測量分析軟件

電動(dòng)輪廓儀配備了一體化操作的測量分析軟件，使得測量與分析過(guò)程更加便捷。測量與分析功能在同界面操作，無(wú)需切換，測量數據自動(dòng)統計，實(shí)現了快速批量測量的功能。軟件界面設有可視化窗口，用戶(hù)可以實(shí)時(shí)觀(guān)察掃描過(guò)程，確保測量的準確性和完整性。此外，軟件還提供了幾何分析、粗糙度分析、結構分析、頻率分析和功能分析等五大功能模塊，滿(mǎn)足用戶(hù)多樣化的分析需求。通過(guò)自定義分析模板的自動(dòng)化測量功能，用戶(hù)可以自動(dòng)完成多區域的測量與分析過(guò)程，大大提高了工作效率。

三、精密操縱手柄與雙重防撞保護措施

電動(dòng)輪廓儀的精密操縱手柄集成了X、Y、Z三個(gè)方向的位移調整功能，用戶(hù)可以快速完成載物臺平移、Z向聚焦、找條紋等測量前工作，提高了測量的靈活性和準確性。同時(shí)，儀器還采用了雙重防撞保護措施，包括初級的軟件ZSTOP設置Z向位移下限位進(jìn)行防撞保護，以及在Z軸上設計的機械電子傳感器。當鏡頭觸碰到樣品表面時(shí)，儀器會(huì )自動(dòng)進(jìn)入緊急停止狀態(tài)，從而有效保護儀器，降低人為操作風(fēng)險。

四、雙通道氣浮隔振系統

電動(dòng)輪廓儀配備了雙通道氣浮隔振系統，既可以接入客戶(hù)現場(chǎng)的穩定氣源，也可以接入標配空壓機，確保在無(wú)外接氣源的條件下也能穩定工作。這一設計使得電動(dòng)輪廓儀能夠適應不同的工作環(huán)境，保持測量的穩定性和準確性。

五、廣泛的應用領(lǐng)域

電動(dòng)輪廓儀的應用領(lǐng)域廣泛，可以對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。在半導體制造、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車(chē)零部件以及航空航天等領(lǐng)域中，電動(dòng)輪廓儀都發(fā)揮著(zhù)重要作用。

六、豐富的測量參數與評價(jià)標準

電動(dòng)輪廓儀可依據ISO/ASME/EUR/GBT等國內外標準，提供多達300余種2D、3D參數作為評價(jià)標準。這些參數涵蓋了從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀(guān)幾何輪廓、曲率等多個(gè)方面，為用戶(hù)提供了全面的測量和分析依據。