臺階儀，也稱(chēng)為探針式輪廓儀或接觸式表面輪廓測量?jì)x，主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀(guān)形貌參數的測量。

臺階儀的工作原理

臺階儀的核心部件是一個(gè)精密的觸針或探針，它被安裝在一個(gè)高度可調的支架上。當觸針沿被測表面輕輕滑過(guò)時(shí)，由于表面可能存在微小的峰谷，觸針在滑行的同時(shí)會(huì )根據表面的起伏作上下運動(dòng)。這些上下運動(dòng)被轉換為電信號，通過(guò)精密的傳感器和數據采集系統記錄下來(lái)。

臺階儀測量膜厚的原理

臺階儀測量膜厚的原理是基于臺階高度差的變化。具體操作時(shí)，臺階儀的探針會(huì )沿著(zhù)薄膜表面移動(dòng)，探針上的傳感器會(huì )記錄下探針在薄膜表面和基底表面的垂直位移變化，并通過(guò)數據處理系統轉換成薄膜的厚度值，從而計算出薄膜厚度。

CP系列臺階儀采用LVDC電容傳感器，具有亞埃級分辨率和超微測力特點(diǎn)。在測量測薄膜厚度方面，具有以下特點(diǎn)：

1）結合了360°旋轉臺的全電動(dòng)載物臺，能夠快速定位到測量標志位；

2）對于批量樣件，提供自定義多區域測量功能，實(shí)現一鍵多點(diǎn)位測量；

3）提供SPC統計分析功能，直觀(guān)分析測量數值變化趨勢；

臺階儀測量膜厚的優(yōu)勢

1、高精度

CP系列臺階儀出色的重復性和再現性，其分辨率可達納米級別，滿(mǎn)足被測件測量精度的要求。它采用了線(xiàn)性可變差動(dòng)電容傳感器LVDC，接觸力非常小，具備超高的測量精度和測量重復性，亞埃級垂直分辨率適合各類(lèi)材質(zhì)、吸光特性的表面測量。

2、高效率

配備有高速數據采集和分析系統，采用超精細的運動(dòng)控制、標定算法等核心技術(shù)，測量穩定、便捷、高效。

3、多樣化的測量功能

除了測量膜厚，臺階儀還可以測量表面粗糙度、臺階高度等多種表面特性，具有很強的多功能性。

4、適應范圍廣

臺階儀樣品適應面廣，對測量表面反光特性、材料種類(lèi)、材料硬度都沒(méi)有特別要求。

5、操作簡(jiǎn)單

臺階儀配備有用戶(hù)友好的操作界面和強大的數據處理軟件，操作簡(jiǎn)單。用戶(hù)只需將探針?lè )胖迷谂_階上，儀器便會(huì )自動(dòng)計算出薄膜的厚度，無(wú)需復雜的校準過(guò)程。

臺階儀在膜厚測量領(lǐng)域有其優(yōu)勢，它不僅提供了高精度的測量結果，而且同時(shí)具備快速、多功能和易于操作的特點(diǎn)。隨著(zhù)技術(shù)的不斷進(jìn)步，臺階儀在材料科學(xué)和精密工程中的應用將會(huì )更加廣泛，為薄膜材料的研究和質(zhì)量控制提供強有力的支持。