隨著(zhù)超精密加工技術(shù)的不斷進(jìn)步，各種微納結構元件廣泛應用于超材料、微電子、航空航天、環(huán)境能源、生物技術(shù)等領(lǐng)域。其中超精密3D顯微測量技術(shù)是提升微納制造技術(shù)發(fā)展水平的關(guān)鍵，中圖儀器自主研發(fā)的白光干涉掃描和共聚焦3D顯微形貌檢測技術(shù)，廣泛應用于涉足超精密加工領(lǐng)域的三維形貌檢測與表面質(zhì)量檢測方案。其中，VT6000系列共聚焦顯微鏡，在結構復雜且反射率低的表面3D微觀(guān)形貌重構與檢測方面具有不俗的表現。

一、結構深、角度大

電子產(chǎn)品中一些光學(xué)薄膜表面存在一些特殊的微結構，這些結構表現為窄而深的“V形"、“金字塔"。白光干涉儀在測量此類(lèi)結構時(shí)，由于形貌陡峭、角度大，無(wú)法形成干涉條紋信號，或條紋寬度過(guò)窄而無(wú)法準確地解調出深度信息。VT6000系列共聚焦顯微鏡基于針孔點(diǎn)光源的共軛共焦原理，其依托弱光信號解析算法可以完整重建出近70°陡峭的復雜的結構形狀。

二、反射差、信號弱

碳纖維紙類(lèi)的表面反射率低，結構復雜且呈立體狀。白光干涉儀因其對樣品表面反射形成的干涉條紋光信號對比度要求較高，而碳紙表面纖維絲的立體角度大，導致部分位置因反射率低形成的干涉條紋對比度較低甚至無(wú)法形成干涉條紋，從而難以解調出深度信息。VT6000系列共聚焦顯微鏡在此展現出其對弱光信號解析能力優(yōu)勢，對樣件表面的低反射率特性適應能力更強。

中圖儀器以其自主研發(fā)的共聚焦顯微鏡，與早前推出的白光干涉儀一起，構成光學(xué)3D顯微測量領(lǐng)域的姊妹雙姝，為國內超精密加工與微納制造領(lǐng)域提供專(zhuān)業(yè)的3D顯微形貌檢測方案。

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是一家專(zhuān)業(yè)的幾何量測量?jì)x器制造商，旗下有專(zhuān)門(mén)的微納檢測儀器事業(yè)部，目前有SuperView系列光學(xué)3D表面輪廓儀、VT6000系列共聚焦顯微鏡、CP系列臺階儀等三大類(lèi)納米級3D測量產(chǎn)品。憑借著(zhù)多年在客戶(hù)端應用場(chǎng)景下的錘煉，在3D顯微測量領(lǐng)域積累了豐富的開(kāi)發(fā)與應用經(jīng)驗。多年的自主開(kāi)發(fā)工作，公司在納米傳動(dòng)與掃描技術(shù)、白光干涉與高精度3D重建技術(shù)、尼普科夫轉盤(pán)共聚焦系統、超分辨率電容傳感掃描技術(shù)、超大區域無(wú)縫縫合技術(shù)等多個(gè)涉及到光、機、電、算交叉學(xué)科的領(lǐng)域積累了雄厚的技術(shù)實(shí)力。參與過(guò)多項國家重大科研項目的攻關(guān)工作并順利通過(guò)驗收。作為一家銷(xiāo)售服務(wù)網(wǎng)絡(luò )遍布全國的微納檢測儀器制造商，中圖儀器始終致力于為客戶(hù)提供專(zhuān)業(yè)的技術(shù)服務(wù)和優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品解決方案。