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共聚焦顯微鏡在光學(xué)膜片表面微結構測量中的應用

更新時(shí)間:2023-07-21      點(diǎn)擊次數:580
在當前的液晶顯示器行業(yè),TFT液晶面板因其顯示反應速度更快更適用于動(dòng)畫(huà)及顯像顯示的特點(diǎn)而得到廣泛應用。作為配套組件的背光顯示模組,為其供應充足且分布均勻的光源亮度,使得液晶面板的顯像功能能夠正常工作。液晶面板消費需求的不斷增長(cháng)帶動(dòng)了上游背光顯示模組和作為模組核心材料光學(xué)膜片的大量投產(chǎn)。

光學(xué)膜片作為背光顯示模組的核心材料,其對光線(xiàn)的匯聚效果決定著(zhù)背光模組的效能,進(jìn)而直接影響著(zhù)液晶面板的顯像效果。而光學(xué)膜片對光線(xiàn)的匯聚效果則是由分布在其表面的陣列微結構的輪廓尺寸所決定,因而需要對微結構的輪廓尺寸參數進(jìn)行檢測與管控,以滿(mǎn)足設計要求和確保最終液晶面板有著(zhù)良好的顯像效果。

圖片

光學(xué)膜片

光學(xué)膜片工件具有尺寸大、輕薄的特點(diǎn),其重心易受空氣流動(dòng)而產(chǎn)生抖動(dòng),其表面呈透明反射率低的特征,且微結構有微棱鏡結構、微透鏡結構和金字塔結構等多種類(lèi)型,均具備較大的傾角特征,整體輪廓尺寸又在微米量級因而精度要求到亞微米級。針對具有四個(gè)測量難點(diǎn)的光學(xué)膜片檢測需求,在微納級檢測儀器領(lǐng)域面臨著(zhù)精度夠的角度測量能力不足、角度測量能力夠的精度無(wú)法滿(mǎn)足要求的窘境。
作為一家具備多款微納級3D顯微測量?jì)x器的廠(chǎng)商,中圖儀器,為光學(xué)膜片的檢測,提供了專(zhuān)業(yè)的解決方案——VT6000共聚焦顯微鏡,搭配50×、100×高數值孔徑的APO復消色差物鏡。在測量時(shí)由于其基于鏡頭焦深的原理不會(huì )受到樣件本身輕微抖動(dòng)的影響,同時(shí)高倍APO物鏡所具有的大角度測量能力搭配儀器自身納米級的掃描分辨率,能夠輕松實(shí)現透明表面微結構的3D圖像重建和輪廓尺寸的高精度測量,在下述視頻中可直觀(guān)的了解光學(xué)膜片表面微結構的測量過(guò)程。
中圖儀器,贊29
從視頻中可知,中圖儀器共聚焦顯微鏡能夠對光學(xué)膜表面微結構實(shí)現快速自動(dòng)化測量,并提供高度、寬度和角度等一系列輪廓尺寸參數對表面質(zhì)量進(jìn)行表征,幫助客戶(hù)實(shí)現光學(xué)膜片表面質(zhì)量的檢測與管控。

如下圖所示,在實(shí)現表面微結構3D圖像的高精度重建與測量的同時(shí),共聚焦顯微鏡以其明顯優(yōu)于金相顯微鏡的橫向分辨率,也能夠提供表面微結構的清晰影像圖片,幫助更細致的觀(guān)察微結構的表面特征,從圖像可知,在高倍率鏡頭下,棱鏡峰側壁的刀具磨損紋路痕跡明顯,金字塔頂和底部界限分明,微透鏡表面粒子邊緣清晰。

光學(xué)膜片表面微結構3D圖像、影像圖
隨著(zhù)液晶顯示屏在朝著(zhù)輕薄化、高清化的方向發(fā)展,其核心材料光學(xué)膜片也在往薄型化、高亮度化、高色域化的方向發(fā)展,屆時(shí)其表面微結構的特征尺寸也將更加多樣化和小型化,這勢必將對測量?jì)x器提出更高的要求。中圖儀器,將不斷迭代最新的光學(xué)測量技術(shù),不斷提升VT6000共聚焦顯微鏡的產(chǎn)品性能,始終滿(mǎn)足客戶(hù)的測量要求,為客戶(hù)提供*專(zhuān)業(yè)的產(chǎn)品方案和服務(wù)。

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