白光干涉儀的基本原理是通過(guò)不同的光學(xué)元件形成參考光路和探測光路，是利用干涉原理測量光程差，從而確定相關(guān)物理量的光學(xué)儀器。結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等，可以對器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，然后通過(guò)一體化操作的測量分析軟件對器件表面3D圖像進(jìn)行數據處理與分析，從而獲得反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數，實(shí)現器件表面形貌3D測量。

測量分析軟件

1）測量與分析同界面操作，無(wú)須切換，測量數據自動(dòng)統計，實(shí)現了快速批量測量的功能；

2）可視化窗口，便于用戶(hù)實(shí)時(shí)觀(guān)察掃描過(guò)程；

3）結合自定義分析模板的自動(dòng)化測量功能，可自動(dòng)完成多區域的測量與分析過(guò)程；

4）幾何分析、粗糙度分析、結構分析、頻率分析、功能分析五大功能模塊齊全；

5）一鍵分析、多文件分析，自由組合分析項保存為分析模板，批量樣品一鍵分析，并提供數據分析與統計圖表功能；

6）可測依據ISO/ASME/EUR/GBT等標準的多達300余種2D、3D參數。

其中白光干涉儀的拼接功能，能夠針對樣品的同一區域進(jìn)行不同模式的檢測。SuperViewW1白光干涉儀拼接功能3軸光柵閉環(huán)反饋，在樣品表面抽取多個(gè)區域測量，可以快速實(shí)現大區域、高精度的測量，從而對樣品進(jìn)行評估分析。不僅有利于數據的綜合分析，也可以減少維護成本，從而提高效率。

SuperViewW1白光干涉儀

SuperViewW1白光干涉儀XY載物臺標準行程為140*110mm，可以測到12mm，也可以測到更小的尺寸，局部位移精度可達亞微米級別，可以測量非常微小尺寸的器件；也可以使用自動(dòng)拼接測量、定位自動(dòng)多區域測量功能將測量的每一個(gè)小區域整合拼接成完整的圖像，從而獲得物體整個(gè)區域的表面情況。

大尺寸樣品拼接測量

自動(dòng)拼接功能

操作步驟

1.點(diǎn)擊XY復位，使得鏡頭復位到載物臺中心

2.將被測物放置在載物臺夾具上，被測物中心大致和載物臺中心重合；

3.確認電機連接狀態(tài)和環(huán)境噪聲狀態(tài)滿(mǎn)足測量條件；

4.使用操縱桿搖桿旋鈕調節鏡頭高度，找到干涉條紋；

5.設置好掃描方式和掃描范圍；

6.點(diǎn)擊選項圖標，確認自動(dòng)找條紋上下限無(wú)誤；

7.點(diǎn)擊多區域測量圖標，可選擇方形和（橢）圓形兩種測量區域形狀；

8.根據被測物形狀和尺寸，"形狀"欄選擇“橢圓平面"，X和Y方向按需設置；

9.點(diǎn)擊彈出框右下角的“開(kāi)始"圖標，儀器即自動(dòng)完成多個(gè)區域的對焦、找條紋、掃面等操作。