三坐標測量機測量精度高、效率高，廣泛應用在精密加工檢測領(lǐng)域。它與數控機床是保證工件測量與加工精度的關(guān)鍵設備。其中作為高精度的測量基準，幾何誤差的快速、高精度檢測技術(shù)都是三坐標測量機性能提升的關(guān)鍵。三坐標測量機運行速度的加快，動(dòng)態(tài)誤差往往會(huì )比靜態(tài)/準靜態(tài)誤差對測量精度影響更大。特別在高速測量過(guò)程中，產(chǎn)生的自激振動(dòng)和受迫振動(dòng)，都會(huì )產(chǎn)生動(dòng)態(tài)誤差。激光干涉儀是常用的機床、三坐標測量機幾何誤差檢測的手段。

其中垂直度測量是通過(guò)比較正交軸的直線(xiàn)度值從而確定正交軸的非直角度。三坐標測量機的垂直度誤差可能是導軌磨損、事故造成導軌損壞、機器地基差、正交軸上兩原點(diǎn)傳感器未準直等因素造成的，垂直度誤差將對機器的定位精度及插補能力產(chǎn)生直接影響。SJ6000激光干涉儀以光波為載體，在動(dòng)態(tài)測量軟件的配合下，可實(shí)現三坐標測量機的垂直度檢測分析。

垂直度測量構建

SJ6000激光干涉儀垂直度的測量是直線(xiàn)度測量在二維方向上的延伸。垂直度測量由正交軸的兩組直線(xiàn)度測量組成，其中直線(xiàn)度反射鏡作為共同的參考基準，在測量過(guò)程中保持原為，且不進(jìn)行調整；光學(xué)角尺用于至少在其中一次直線(xiàn)度測量中，允許調整激光束與軸的準直。垂直度誤差=光學(xué)直角尺誤差-斜度θ1-斜度。

SJ6000激光干涉儀

垂直度測量的光路原理構件圖

三坐標測量機XY軸的垂直度測量