國產(chǎn)激光干涉儀的光路調節方法
更新時(shí)間:2022-10-20 點(diǎn)擊次數:667
國產(chǎn)激光干涉儀是以光波為載體,測量精度高,測量速度快,測量范圍大,其光波長(cháng)可直接定義為米,并可追溯到標準。以其良好的性能、在很多場(chǎng)合,特別是在大長(cháng)度與大位移的測量中得到廣泛應用。廣泛應用于數控機床等儀器的質(zhì)量控制和校準,以及科研開(kāi)發(fā)、設備制造等領(lǐng)域。
結合不同的光學(xué)鏡組,可實(shí)現線(xiàn)性測長(cháng)、角度、直線(xiàn)度、垂直度、平行度、平面度等幾何參數的高精度測量。在動(dòng)態(tài)測量軟件的配合下,可以實(shí)現線(xiàn)性位移、角度和直線(xiàn)度的動(dòng)態(tài)測量和性能檢測,以及位移、速度、加速度、振幅和頻率的動(dòng)態(tài)分析。在調節光路時(shí),請遵循以下基本流程:
1、將國產(chǎn)激光干涉儀放置在可調底座(如有)上,通電點(diǎn)亮激光器,等待其預熱;如預熱結束,尾部的“READY”LED指示燈會(huì )顯示綠色。鎖定激光器位置。
2、將所有導光元件初步固定在導光元件可調底座上,并安裝在設計位置;沿著(zhù)光路順序,逐個(gè)調節導光元件。遇到光路分叉時(shí),請先調節反射光路,然后調節投射光路。調節時(shí)請注意以下兩點(diǎn):
a:出光口的光闌,選擇大光斑(6mm或者9mm光斑),依次調整導光元件的橫向位置,使光束從導光元件通光孔的中心入射,保證光束不會(huì )出現消光現象;
b:選擇小光斑(3mm光斑),依次調節各個(gè)導光元件的位置。將一平面鏡(前后面平行度較高)緊貼導光元件的反射光出口處,通過(guò)調整可調底座的俯仰度和傾斜度,使反射光沿原路返回至激光器出光處。然后鎖緊導光元件的位置。
3、裝調完所有的導光元件之后,再安裝干涉儀。