激光干涉儀以光波為載體,利用激光作為長(cháng)度基準,是高精度、高靈敏度的測量?jì)x器。激光干涉儀不僅廣泛用于裝備如數控機床、激光切割機、光刻機等，在計量檢定領(lǐng)域也能大展身手。

1、測長(cháng)機檢定

傳統的測長(cháng)機示值誤差主要采用量塊進(jìn)行校準，受環(huán)境因素影響較大，校準條件要求高，且量程大于1m的測長(cháng)機需要分段校準，效率低，而使用激光干涉儀進(jìn)行校準，不僅可以提高效率，還可通過(guò)環(huán)境補償單元對空氣溫度、壓力、濕度和材料溫度進(jìn)行補償，提高校準精度。

SJ6000激光干涉儀檢定測長(cháng)機

2、三坐標測量機示值誤差測量

隨著(zhù)三坐標測量機技術(shù)的更新和發(fā)展，使用傳統的量塊、球板等已經(jīng)難以滿(mǎn)足大型三坐標測量機的檢測要求，激光干涉儀測量準確度高，測量范圍大，測量數據豐富，適合測量三坐標各項幾何誤差。

SJ6000激光干涉儀檢測三坐標測量機

3、位移傳感器檢定

利用激光干涉儀對位移傳感器檢定成為發(fā)展趨勢,其特點(diǎn)是測量精度高、反應速度快、易于數字化測量。在測量中設計一個(gè)精密導軌,將反射鏡同被測傳感器放在一起同步檢測,從而形成對比，位移傳感器自動(dòng)檢定系統與SJ6000激光干涉儀(標準)對定長(cháng)位移進(jìn)行測試對比,得出往復測試實(shí)驗結果。

SJ6000激光干涉儀檢測位移傳感器

4、影像儀定位精度測量

影像儀傳統檢測方法采用線(xiàn)紋尺比對法進(jìn)行，存在著(zhù)檢測精度低、測量系統誤差大、成因分析功能缺失、改善方向不精準、 檢測效率低下等問(wèn)題。使用激光干涉儀可以對影像儀的定位誤差進(jìn)行快速檢測，對測量數據進(jìn)行運算分析，利用軟件生產(chǎn)補償文件快速實(shí)施二維平面多點(diǎn)位補償，可大大降低設備制造過(guò)程中的精度檢測難度、提升檢測效率及補償效率。

SJ6000激光干涉儀檢測影像儀