儀器采用塞曼穩頻或者其他方式將單頻激光分為兩個(gè)振動(dòng)方向互相垂直，具有一定頻差的激光輸出。其中，分一部分光作為參考光，參考光的頻率差為f1-f2，另一部分光由激光頭出射，同樣通過(guò)偏振分光棱鏡PBS，可以將兩個(gè)振動(dòng)方向互相垂直的線(xiàn)偏振光分開(kāi)，一束頻率為f1的光由固定角錐反射返回，另一束頻率為f2的光作為測量光，由移動(dòng)角錐反射，在返回時(shí)由于多普勒效應，相應的光頻變化為f2±△f。

　　

　　激光干涉儀是在單頻激光干涉儀的基礎上發(fā)展的一種外差式干涉儀。和單頻激光干涉儀一樣，也是一種以波長(cháng)作為標準對被測長(cháng)度進(jìn)行度量的儀器?？梢栽诤銣?，恒濕，防震的計量室內檢定量塊，量桿，刻尺和坐標測量機等。它既可以對幾十米的大量程進(jìn)行精密測量，也可以對手表零件等微小運動(dòng)進(jìn)行精密測量，既可以對幾何量如長(cháng)度、角度．直線(xiàn)度、平行度、平面度、垂直度等進(jìn)行測量，也可以用于特殊場(chǎng)合，諸如半導體光刻技術(shù)的微定位和計算機存儲器上記錄槽間距的測量等等。

　　

　　該儀器主要應用于運動(dòng)導軌的測量與校準，如數控機床、三坐標、機器人、3D打印設備、自動(dòng)化設備、線(xiàn)性位移平臺等領(lǐng)域；也可用于教學(xué)和科研，如引力波探測、重力加速度試驗、微觀(guān)檢測和納米研究等。