高精密直驅平臺廣泛應用于半導體晶圓檢測、微電子組件測試取放、DNA測序、激光加工等領(lǐng)域，定位精度要求高，線(xiàn)性位移100mm行程范圍內定位誤差要求≤1μm。人類(lèi)頭發(fā)直徑約70μm，就是要比人類(lèi)頭發(fā)直徑的70分之1還要小，如此高定位精度的平臺測量和校準普通檢測設備根本無(wú)法做到。

中圖儀器SJ6000激光干涉儀為客戶(hù)直驅平臺定位精度的測量和驗證提供了良好的解決方案，精度達到納米級，在穩定的實(shí)驗條件下滿(mǎn)足了客戶(hù)測量和校準的要求，提高了客戶(hù)產(chǎn)品的質(zhì)量和檢測效率，取得了不錯的市場(chǎng)反響。

測量時(shí)，根據直驅平臺移動(dòng)模式設定好SJ6000軟件采集設置。測量時(shí)實(shí)時(shí)顯示測量誤差，完成后即時(shí)生成測量報告。報告顯示設備的定位精度在100nm內，反向差值在40nm內。

SJ6000激光干涉儀采用美國進(jìn)口高穩頻氦氖激光器、激光雙縱模熱穩頻技術(shù)、高精度環(huán)境補償模塊、幾何參量干涉光路設計、高精度激光干涉信號處理系統、高性能計算機控制系統技術(shù)，實(shí)現各種參數的高精度測量。